SnO2气敏性能与微观结构
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·气体传感器的分类与应用 | 第9-10页 |
| ·气体传感器研究现状 | 第10-14页 |
| ·SnO_2传感器的研究 | 第10-11页 |
| ·掺杂金属的SnO_2传感器研究 | 第11-12页 |
| ·掺杂金属氧化物的SnO_2传感器的研究 | 第12-13页 |
| ·多组分氧化物的SnO_2传感器研究 | 第13-14页 |
| ·智能型SnO_2气敏传感器的研究 | 第14页 |
| ·气体传感器气敏机理 | 第14-17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第17-20页 |
| ·溶胶凝胶法制备过程 | 第17-19页 |
| ·溶胶-凝胶法特点 | 第19页 |
| ·分散剂机理与作用 | 第19-20页 |
| ·本文研究的内容和意义 | 第20-21页 |
| 第2章 实验材料及测试 | 第21-25页 |
| ·实验材料 | 第21-22页 |
| ·气敏元件制备工艺 | 第22-23页 |
| ·基体材料制备 | 第22页 |
| ·元件制备流程 | 第22-23页 |
| ·测试方法 | 第23-24页 |
| ·电路结构 | 第23页 |
| ·测试参数定义 | 第23-24页 |
| ·显微测试 | 第24-25页 |
| ·X 射线相分析 | 第24页 |
| ·微观结构观察 | 第24-25页 |
| 第3章 二氧化锡气体传感器气敏性能 | 第25-35页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·工作电压对气敏性能的影响 | 第25-28页 |
| ·加热方式与器件种类 | 第25-26页 |
| ·工作电压对二氧化锡气体传感器的影响 | 第26-28页 |
| ·气氛对二氧化锡气敏传感器气敏性能的影响 | 第28-29页 |
| ·基体材料的制备方法对气敏传感器的影响 | 第29-31页 |
| ·掺杂气敏传感器的研究 | 第31-34页 |
| ·锑掺杂对气敏性能的影响 | 第31-32页 |
| ·粘合剂对气敏性能的影响 | 第32-33页 |
| ·催化剂对气敏性能的影响 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第4章 二氧化锡薄膜显微结构 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·X 射线分析 | 第35-38页 |
| ·工艺条件对颗粒粒度的影响 | 第38-47页 |
| ·制备工艺对粒度的影响 | 第38-39页 |
| ·烧结温度对粒度的影响 | 第39-42页 |
| ·掺杂三氧化二锑对粒度和气孔率的影响 | 第42-45页 |
| ·掺杂粘合剂对粒度的影响 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第5章 气体传感器工作机理分析 | 第48-54页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·温度对电子迁移率的影响 | 第48-50页 |
| ·氧分压对载流子浓度的影响 | 第50页 |
| ·SnO_2粒度对气敏特性的影响 | 第50-51页 |
| ·掺杂对导电性能和灵敏度的影响 | 第51-53页 |
| ·锑掺杂的影响 | 第51-52页 |
| ·金属离子对气敏特性的影响 | 第52页 |
| ·催化剂机理分析 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
