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Si衬底上低压MOCVD生长ZnS,ZnSe薄膜和ZnSe量子点

摘要第1-4页
英文摘要第4-6页
目录第6-9页
第一章 引言第9-16页
第二章 宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体及量子点研究与发展概况第16-34页
   ·宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的基本性质与研究进展第16-21页
     ·Ⅱ-Ⅵ族半导体的基本性质第16-18页
     ·宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的发展概况第18-21页
   ·半导体量子点的基本性质与制备方法第21-25页
     ·半导体量子点的基本性质第21-23页
     ·半导体量子点的制备方法第23-25页
   ·在Si衬底上外延生长Ⅱ-Ⅵ族半导体的进展第25-29页
     ·Si基发光材料的发展概况第25-27页
     ·在Si衬底上外延生长宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的研究进展第27-29页
 参考文献第29-34页
第三章 实验样品的制备与表征第34-45页
   ·生长制备系统第34-38页
     ·常规MOCVD系统第34-37页
     ·光助MOCVD系统第37-38页
   ·物理测量第38-43页
     ·X-射线衍射第38-39页
     ·扫描电子显微镜第39-42页
     ·光致发光第42-43页
 参考文献第43-45页
第四章 光助MOCVD系统的改造及光助MOCVD生长ZnSe,ZnSe:N薄膜第45-59页
   ·光助MOCVD系统的改造第46-49页
   ·光助MOCVD生长ZnSe薄膜第49-55页
     ·光助MOCVDZnSe薄膜的制备第49页
     ·光助MOCVDZnSe薄膜的表征第49-53页
     ·光助的生长机理第53-55页
   ·光助MOCVD生长ZnSe:N薄膜第55-56页
   ·本章小结第56页
 参考文献第56-59页
第五章 Si衬底上ZnS薄膜的低压MOCVD生长第59-73页
   ·衬底的清洗处理第59-61页
   ·Si衬底上ZnS薄膜的制备和表征第61-69页
     ·Si衬底上ZnS薄膜的制备过程第62-63页
     ·Si衬底上ZnS薄膜的表征第63-67页
     ·Si衬底上生长ZnS薄膜的理论分析第67-69页
   ·本章小结第69页
 参考文献第69-73页
第六章 Si衬底上ZnSe薄膜的低压MOCVD生长第73-84页
   ·Si衬底上ZnSe薄膜的制备第74-75页
   ·Si衬底上ZnSe薄膜的表征第75-81页
   ·本章小结第81页
 参考文献第81-84页
第七章 Si衬底上低压MOCVD生长ZnSe量子点第84-96页
   ·半导体量子点制备的外延生长方法第85-86页
   ·Si衬底上V-W模式ZnSe/ZnS量子点结构的制备第86-88页
   ·Si衬底上V-W模式ZnSe/ZnS量子点结构的表征第88-91页
   ·本章小结第91-92页
 参考文献第92-96页
第八章 结论第96-99页
附录第99-102页
 主要工作第99页
 发表的论文第99-101页
 个人简历第101-102页
致谢第102页

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