| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-28页 |
| ·微／纳电子机械系统(MEMS／NEMS) | 第9-13页 |
| ·微／纳电子机械系统及其特点 | 第9-10页 |
| ·由MEMS发展进入NEMS | 第10-13页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)技术 | 第13-15页 |
| ·扫描探针显微镜介绍 | 第13-14页 |
| ·扫描探针显微镜家族的发展壮大 | 第14-15页 |
| ·纳机电探针综述 | 第15-21页 |
| ·针尖-悬臂梁结构纳机电探针 | 第15-20页 |
| ·针尖-悬臂梁结构纳机电探针应用 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要工作 | 第21-23页 |
| ·本论文的目的和意义 | 第21-22页 |
| ·本论文的创新点 | 第22页 |
| ·本论文的内容 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-28页 |
| 第2章 纳机电探针器件理论基础及设计 | 第28-54页 |
| ·纳机电探针器件结构及其原理 | 第28-31页 |
| ·器件结构 | 第28-29页 |
| ·工作原理 | 第29-31页 |
| ·纳机电探针器件的力学和电热学分析 | 第31-46页 |
| ·纳机电探针的力学基础 | 第31-37页 |
| ·纳机电探针压阻微力／微位移敏感器件基础 | 第37-39页 |
| ·纳机电探针电热针尖分析 | 第39-46页 |
| ·纳机电探针器件的设计及其参数选择 | 第46-52页 |
| ·等截面悬臂梁的结构尺寸对器件力学性能影响 | 第46-49页 |
| ·V形悬臂梁的结构尺寸对器件力学性能影响 | 第49-51页 |
| ·U形悬臂梁结构尺寸对器件力学性能影响 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第3章 纳机电探针器件关键工艺研究 | 第54-74页 |
| ·KOH各向异性腐蚀技术研究 | 第54-65页 |
| ·KOH腐蚀基本原理 | 第54-65页 |
| ·硅尖KOH腐蚀工艺小结 | 第65页 |
| ·硅尖低温氧化削尖技术的研究 | 第65-69页 |
| ·硅氧化基本原理 | 第65-67页 |
| ·硅尖氧化削尖结果 | 第67-68页 |
| ·硅尖氧化削尖工艺小结 | 第68-69页 |
| ·加热电阻扩散工艺研究 | 第69-71页 |
| ·扩散基本原理 | 第69-71页 |
| ·加热电阻扩散工艺小结 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 第4章 纳机电探针器件的集成制造 | 第74-87页 |
| ·等截面悬臂梁结构纳机电探针阵列器件 | 第74-77页 |
| ·制造工艺 | 第74-76页 |
| ·结果与讨论 | 第76-77页 |
| ·V形悬臂梁结构纳机电探针阵列器件 | 第77-81页 |
| ·制造工艺 | 第77-79页 |
| ·结果与讨论 | 第79-81页 |
| ·U形悬臂梁结构纳机电探针阵列器件 | 第81-85页 |
| ·制造工艺 | 第81-82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-85页 |
| ·纳机电探针器件的封装 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
| 第5章 纳机电探针器件的性能测试 | 第87-104页 |
| ·纳机电探针器件的电阻温度系数标定 | 第87-89页 |
| ·纳机电探针器件加热电阻的稳态电热特性 | 第89-92页 |
| ·纳机电探针器件加热电阻瞬态电热特性 | 第92-97页 |
| ·纳机电探针器件悬臂梁弹性系数测量及其针尖读出敏感特性 | 第97-99页 |
| ·纳机电探针器件数据存储测试 | 第99-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-104页 |
| 第6章 总结 | 第104-107页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文目录 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 作者简介 | 第109-110页 |
| 附录(一) | 第110-113页 |