隧道状态下纳米级振动检测技术的研究

中文摘要	第1-3页
英文摘要	第3-6页
第一章 绪论	第6-14页
·隧道状态下振动研究的现状	第6-9页
·振动特性及隧道状态下的振动分析	第6-7页
·STM的隔振系统	第7-9页
·纳米级振动研究的技术及现状	第9-13页
·本课题的主要任务	第13-14页
第二章 隧道状态下纳米级振动的检测原理	第14-21页
·隧道效应与隧道电流分析	第14-17页
·振动的基本理论及频谱分析	第17-19页
·隧道状态下振动的检测技术	第19-21页
第三章 实验装置的设计与实现	第21-38页
·实验装置总体设计	第21-23页
·STM的构成及分析	第21-22页
·实验装置设计	第22-23页
·实验装置结构	第23-28页
·微动调整装置	第23-27页
·传感器结构	第27-28页
·硬件电路的设计	第28-34页
·I-V转换放大电路	第28-32页
·DSP处理电路	第32-34页
·信号反馈控制	第34-38页
第四章 实验结果与误差分析	第38-53页
·前置放大电路的标定	第38-45页
·干扰源的检测实验	第38-40页
·前置放大电路的静态标定	第40-43页
·前置放大电路的动态响应	第43-45页
·纳米级振动检测实验	第45-53页
·振动检测过程与实验	第45-49页
·测振实验小结	第49-50页
·误差分析	第50-53页
第五章 结论与展望	第53-55页
参考文献	第55-57页
硕士期间发表的论文和从事的科研项目	第57-58页
附录	第58-63页
致谢	第63页