高精度曲面光刻实时调焦技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-15页 |
| ·激光直写 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·课题研究意义 | 第13-14页 |
| ·论文研究内容及各章安排 | 第14-15页 |
| 第2章 曲面调焦系统 | 第15-30页 |
| ·光刻系统综述 | 第15-16页 |
| ·常用检焦方法 | 第16-20页 |
| ·刀口法 | 第16-17页 |
| ·像散法 | 第17-18页 |
| ·临界角棱镜法 | 第18页 |
| ·离轴探测法(偏心光束法) | 第18-20页 |
| ·富科棱镜法 | 第20页 |
| ·基于差动临界角的实时调焦系统 | 第20-26页 |
| ·临界角法检焦原理 | 第20-24页 |
| ·差动临界角实时调焦系统 | 第24-26页 |
| ·探测器与预处理电路 | 第26-28页 |
| ·探测器的选择 | 第26-27页 |
| ·预处理电路 | 第27-28页 |
| ·调焦驱动器 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 基于DSP的硬件电路设计实现 | 第30-54页 |
| ·系统需求分析 | 第30-31页 |
| ·系统的功能需求 | 第30页 |
| ·系统的性能需求 | 第30-31页 |
| ·系统的整体设计方案 | 第31-32页 |
| ·微处理器 | 第32-34页 |
| ·VC5416简介 | 第32-34页 |
| ·DSP外部连接中的一些问题 | 第34页 |
| ·DSP外围辅助电路设计 | 第34-42页 |
| ·电源部分 | 第34-36页 |
| ·复位电路 | 第36-37页 |
| ·时钟 | 第37-39页 |
| ·JTAG接口测试电路 | 第39-40页 |
| ·存储器和逻辑电路 | 第40-42页 |
| ·A/D转换器及接口设计 | 第42-47页 |
| ·AD73360简介 | 第42-44页 |
| ·接口电路设计 | 第44-47页 |
| ·D/A转换器及其接口电路 | 第47-48页 |
| ·MAX5200简介 | 第47页 |
| ·MAX5200与DSP接口电路设计 | 第47-48页 |
| ·串行通信模块设计 | 第48-50页 |
| ·通用异步收发器MAX3110 | 第48-49页 |
| ·MAX3110与DSP接口电路 | 第49-50页 |
| ·电路设计中的实际问题 | 第50-52页 |
| ·初步实验 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 系统软件设计 | 第54-70页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·CCS2.0简述 | 第54-55页 |
| ·应用软件设计 | 第55-65页 |
| ·DSP的初始化 | 第56-57页 |
| ·McBSPs的初始化 | 第57页 |
| ·通信模块软件设计 | 第57-58页 |
| ·A/D软件设计 | 第58-60页 |
| ·D/A软件设计 | 第60-61页 |
| ·DSP自启动 | 第61-65页 |
| ·数字PID控制 | 第65-68页 |
| ·计算机监控界面 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 分析与仿真 | 第70-78页 |
| ·灵敏度影响因素分析 | 第70-75页 |
| ·非线性校正 | 第75-78页 |
| 第6章 总结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 研究生履历 | 第83页 |
