| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·纳米 ZnO 粉末的研究 | 第11-17页 |
| ·ZAO 薄膜的研究 | 第17-25页 |
| ·本课题的研究目的及研究内容 | 第25-27页 |
| 2 实验工艺路线与研究方法 | 第27-40页 |
| ·引言 | 第27-28页 |
| ·直接沉淀法制备纳米氧化锌 | 第28-31页 |
| ·ZAO 靶材的制备 | 第31-35页 |
| ·直流磁控溅射法制备ZAO 薄膜 | 第35-38页 |
| ·试验试剂及仪器 | 第38-39页 |
| ·表征与分析 | 第39-40页 |
| 3 纳米 ZnO 制备与粒径的控制 | 第40-54页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 ZAO 靶材及薄膜的制备与表征 | 第54-66页 |
| ·ZAO 靶材的制备与表征 | 第54-60页 |
| ·ZAO 单层膜的制备与表征 | 第60-66页 |
| 5 结论与展望 | 第66-68页 |
| ·结论 | 第66-67页 |
| ·后续工作展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |