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半导体纳米点镶嵌在高K介电材料中的制备及其发光特性的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-27页
   ·引言第8-10页
   ·纳米薄膜材料的光学性质第10-11页
   ·Ge 纳米晶复合薄膜的研究现状第11-16页
   ·镶嵌有Ge 纳米晶复合薄膜的制备方法第16-21页
     ·溅射法(Sputtering)第16-17页
     ·分子束外延(MBE)第17-18页
     ·离子注入(Ion implantation)第18-19页
     ·化学气相沉积法(CVD)第19-20页
     ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel)第20-21页
   ·半导体纳米材料几种经典的发光模型第21-23页
     ·量子限域效应—发光中心模型第21-22页
     ·与氧缺陷有关的发光模型第22页
     ·界面层中的激子效应发光模型第22-23页
     ·直接跃迁发光模型第23页
   ·本文章的研究思路和主要内容第23-25页
 参考文献第25-27页
第二章Ge 纳米晶复合薄膜制备与表征第27-37页
   ·脉冲激光沉积法(PLD)第27-29页
     ·脉冲激光沉积法的原理第27-28页
     ·脉冲激光沉积法的特点第28-29页
   ·Ge 纳米晶复合薄膜的制备第29-32页
     ·脉冲激光沉积系统的结构第29-31页
     ·衬底第31页
     ·靶材第31-32页
     ·样品的处理第32页
   ·Ge 纳米晶复合薄膜的表征第32-36页
     ·X 射线衍射(XRD)第32-33页
     ·透射电子显微镜(TEM)第33-34页
     ·光致荧光谱(PL)第34-36页
 参考文献第36-37页
第三章 Ge 纳米晶的结构和表征第37-45页
   ·Rietveld 方法原理的介绍第37-39页
   ·Rieveld 结构精修的基本条件第39页
   ·薄膜XRD 谱线分析与讨论第39-44页
 参考文献第44-45页
第四章 Ge 纳米晶复合薄膜的光致发光特性第45-50页
   ·Ge/Lu_2O_3复合薄膜光致发光谱第45-47页
   ·Ge/Lu_2O_3、Ge/ SiO_2光致发光谱比较第47-49页
 参考文献第49-50页
第五章 结论第50-51页
在硕士期间公开发表论文及著作情况第51-52页
致谢第52页

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