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大型非球面镜抛光过程智能控制策略研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-10页
1 绪论第10-24页
   ·引言第10页
   ·选题背景及意义第10-13页
   ·大口径非球面光学元件的特点第13-15页
     ·非球面的定义第13-14页
     ·非球面度第14-15页
   ·大口径非球面光学元件抛光加工发展现状第15-21页
     ·CCOS 技术第16-18页
     ·计算机控制应力盘抛光技术第18-19页
     ·离子束抛光技术(ion-beam polishing)第19-20页
     ·磁流变抛光技术(MRF)第20-21页
   ·本课题的研究主要内容第21-24页
2 应力盘抛光技术的基本原理及面形的控制和检测方法第24-36页
   ·应力盘抛光理论第24-28页
     ·应力盘抛光工作的原理第25-26页
     ·应力盘变形数学模型(二次抛物面的非球面)第26-27页
     ·应力盘工作模型第27-28页
   ·应力盘的结构第28-29页
   ·应力盘的机、电设计第29-32页
   ·应力盘面形的技术路线及检测系统第32-33页
   ·应力盘抛光的技术路线第33-34页
   ·本章小结第34-36页
3 应力盘面形数据相关性分析第36-44页
   ·面形特征第36-37页
   ·应力盘面形数据的分布特征分析第37-41页
   ·能动磨盘面形变化与驱动力之间的相关性分析第41-42页
   ·本章小结第42-44页
4 应力盘抛光过程控制方案第44-60页
   ·智能控制技术第44-46页
   ·模糊控制系统第46-50页
     ·模糊控制原理第46-49页
     ·模糊控制的特点第49-50页
   ·人工神经网络技术第50-54页
     ·人工神经网络概述第50-52页
     ·神经网络控制第52-53页
     ·神经网络控制的特点第53-54页
   ·模糊系统和RBF 神经网络的等价性第54-58页
     ·RBF 神经网络第55-56页
     ·模糊推理系统第56-57页
     ·等价性第57-58页
   ·本章小结第58-60页
5 应力盘智能控制系统设计与仿真第60-86页
   ·模糊神经网络控制系统设计第60-63页
     ·系统结构第60-61页
     ·模糊RBF 神经网络推理过程第61-63页
   ·基于模糊RBF 网络的应力盘面形表征模型第63-73页
     ·辨识器结构第63-65页
     ·仿真实验分析第65-73页
   ·神经-模糊(Neural-Fuzzy)应力盘预测模型的可靠性评估方法第73-75页
   ·基于模糊RBF 神经网络应力盘智能控制器第75-84页
     ·模糊神经网络智能控制器的结构第76页
     ·模糊神经网络智能控制器的算法及实现第76-79页
     ·模糊RBF 智能控制器仿真实验分析第79-84页
   ·本章小结第84-86页
6 大型非球面镜抛光过程控制系统仿真软件开发第86-90页
   ·引言第86页
   ·功能第86-89页
   ·本章小结第89-90页
7 总结展望第90-92页
   ·论文完成的主要工作和创新点第90-91页
     ·完成的主要工作第90-91页
     ·本文创新点第91页
   ·工作展望第91-92页
致谢第92-94页
参考文献第94-98页
附录:作者在攻读学位期间发表的论文目录第98页

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