| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·探针定位系统的研究现状 | 第9-13页 |
| ·探针定位系统的工作环境与要求 | 第9-10页 |
| ·探针定位系统的研究现状 | 第10页 |
| ·国外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·直线电机的研究现状及分析 | 第13-18页 |
| ·国外研究现状 | 第13-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 两自由度电机轴向运动部分的设计及仿真研究 | 第19-29页 |
| ·基于两自由度电机的探针定位系统方案的确定 | 第19-20页 |
| ·两自由度电机轴向运动部分的设计 | 第20-23页 |
| ·轴向运动部分结构的确定 | 第20-21页 |
| ·轴向运动部分结构设计 | 第21-22页 |
| ·轴向运动部分电磁设计 | 第22-23页 |
| ·轴向运动部分的仿真分析 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 两自由度电机径向运动部分的设计及仿真研究 | 第29-40页 |
| ·两自由度电机径向运动部分的电机类型和结构形式的选择 | 第29-30页 |
| ·电机类型选择 | 第29页 |
| ·结构形式的选择 | 第29-30页 |
| ·控制方式的选择 | 第30页 |
| ·两自由度电机径向运动部分的设计 | 第30-33页 |
| ·径向运动部分设计的基本考虑 | 第30-31页 |
| ·径向运动部分的结构设计 | 第31-32页 |
| ·径向运动部分的电磁设计 | 第32-33页 |
| ·径向运动部分的仿真分析 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 两自由度电机驱动控制系统研制 | 第40-55页 |
| ·两自由度电机驱动控制系统的总体要求与基本控制方案 | 第40-41页 |
| ·轴向运动用永磁同步直线电机驱动控制系统的研究 | 第41-47页 |
| ·轴向运动用永磁同步直线电机驱动控制系统的总体结构 | 第41页 |
| ·轴向运动用永磁同步直线电机的驱动控制系统的硬件设计 | 第41-46页 |
| ·轴向运动用永磁同步直线电机的驱动控制系统的仿真分析 | 第46-47页 |
| ·径向运动用步进电机驱动控制系统的研究 | 第47-54页 |
| ·径向运动用步进电机驱动控制系统控制策略的制定 | 第47-48页 |
| ·径向运动用步进电机驱动控制系统硬件设计 | 第48-52页 |
| ·径向运动用步进电机驱动控制系统软件设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
