MEMS光纤加速度传感器理论研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| ·微机械传感技术概述 | 第10-11页 |
| ·微机械系统及微加速度传感器 | 第10页 |
| ·微加速度传感技术的应用领域 | 第10-11页 |
| ·微加速度传感器的研究现状 | 第11-13页 |
| ·课题的主要内容以及研究意义 | 第13-14页 |
| 第2 章 光纤加速度计的理论基础 | 第14-30页 |
| ·光纤加速度计的力学原理 | 第14-19页 |
| ·加速度的概念 | 第14-16页 |
| ·比力 | 第16-17页 |
| ·地球重力场中的加速度计 | 第17-19页 |
| ·光纤波导的原理 | 第19-22页 |
| ·光纤传感技术综述 | 第22-23页 |
| ·光纤加速度计的种类及调制原理 | 第23-25页 |
| ·光强调制型光纤加速度计 | 第23-24页 |
| ·相位调制型光纤加速度计 | 第24-25页 |
| ·几种典型的相位调制型光纤传感结构 | 第25-28页 |
| ·迈克尔逊干涉结构 | 第25-27页 |
| ·法布里-珀罗干涉结构 | 第27-28页 |
| ·马赫-曾德尔干涉结构 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3 章 微光纤加速度计的结构设计 | 第30-48页 |
| ·微光纤加速度传感系统结构的总体设计思路 | 第30-31页 |
| ·系统的光源设计 | 第31-35页 |
| ·光源的选取 | 第31-33页 |
| ·光源电路设计 | 第33-35页 |
| ·系统敏感元件组的结构设计 | 第35-41页 |
| ·光的干涉现象 | 第35-38页 |
| ·光程和光程差 | 第38页 |
| ·传感系统敏感元件组及光路的结构设计 | 第38-41页 |
| ·转换元件组与测量电路的设计 | 第41-46页 |
| ·光信号的接收电路及细分电路 | 第41-43页 |
| ·光信号的输入电路与计数电路 | 第43-44页 |
| ·可逆计数器的工作原理 | 第44-45页 |
| ·加速度值的数据计算模块 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4 章 MEMS 传感结构设计 | 第48-58页 |
| ·Coventor Ware 简介 | 第48-49页 |
| ·测量Z 方向加速度的原理推导 | 第49-51页 |
| ·设计参量对传感器量程的影响 | 第51-54页 |
| ·设计参量对传感器分辨率的影响 | 第54-55页 |
| ·设计参量对传感器测量精度的影响 | 第55-56页 |
| ·传感器设计参量的选取 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5 章 MEMS 光纤加速度传感器噪声分析 | 第58-66页 |
| ·传感器探头噪声分析 | 第58-59页 |
| ·机械结构噪声(布朗Brownain 噪声) | 第58页 |
| ·随机振动的噪声 | 第58-59页 |
| ·吸附与解吸附噪声的影响 | 第59页 |
| ·外部光路调制传输系统噪声 | 第59-64页 |
| ·激光光源引入的强度噪声 | 第60-61页 |
| ·电子系统内部的固有噪声 | 第61-64页 |
| ·环境干扰噪声 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
