| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 文中出现的主要缩写 | 第12-13页 |
| 1 引言 | 第13-15页 |
| 2 绪论 | 第15-37页 |
| 2.1 多基元合金薄膜的发展与定义 | 第15-18页 |
| 2.1.1 多基元合金薄膜的发展概述 | 第15-17页 |
| 2.1.2 多基元合金薄膜的定义 | 第17-18页 |
| 2.2 多基元合金及其氮化物薄膜的组织与结构 | 第18-23页 |
| 2.2.1 多基元合金薄膜的相形成规律 | 第18-21页 |
| 2.2.2 多基元合金氮化物薄膜的相形成规律 | 第21-23页 |
| 2.3 多基元合金薄膜的制备方法 | 第23-28页 |
| 2.3.1 气相沉积 | 第24-25页 |
| 2.3.2 表面熔覆 | 第25-26页 |
| 2.3.3 电化学沉积 | 第26-28页 |
| 2.4 多基元合金薄膜的性能 | 第28-35页 |
| 2.4.1 力学性能 | 第28-31页 |
| 2.4.2 耐蚀性能 | 第31-32页 |
| 2.4.3 耐热性能 | 第32-34页 |
| 2.4.4 光热转化性能 | 第34-35页 |
| 2.5 研究的目的及内容 | 第35-37页 |
| 3 实验方法 | 第37-44页 |
| 3.1 实验材料 | 第37页 |
| 3.2 多基元合金薄膜的制备方法 | 第37-40页 |
| 3.2.1 直接溅射 | 第38-39页 |
| 3.2.2 反应溅射 | 第39-40页 |
| 3.2.3 多靶位共溅射 | 第40页 |
| 3.3 多基元合金及氮化物薄膜样品的分析测试方法 | 第40-43页 |
| 3.3.1 物相分析 | 第40-41页 |
| 3.3.2 微观组织和表面形貌分析 | 第41-42页 |
| 3.3.3 成分分析 | 第42页 |
| 3.3.4 力学性能测试 | 第42-43页 |
| 3.3.5 耐腐蚀性测试 | 第43页 |
| 3.3.6 光学性能测试 | 第43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的组织及性能 | 第44-68页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的成分设计与制备 | 第44-49页 |
| 4.3 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的组织结构演变 | 第49-56页 |
| 4.3.1 不同氮元素含量下NbZrTiSiAlN_x薄膜的组织结构演变 | 第49-52页 |
| 4.3.2 高温条件下薄膜的组织结构演变 | 第52-56页 |
| 4.4 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的力学性能 | 第56-64页 |
| 4.4.1 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的硬度 | 第56-59页 |
| 4.4.2 NbZrTiSiAlN_x多基元薄膜的杨氏模量与韧性 | 第59-64页 |
| 4.5 沉积温度对NbZrTiSiAl多基元合金薄膜的组织及性能影响 | 第64-66页 |
| 4.5.1 沉积温度对NbZrTiSiAl多基元合金薄膜的组织结构影响 | 第64-65页 |
| 4.5.2 沉积温度对NbZrTiSiAl多基元合金薄膜的力学性能的影响 | 第65-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 5 NbZrFeCoNiN_x多基元薄膜的组织及性能 | 第68-74页 |
| 5.1 引言 | 第68页 |
| 5.2 NbZrFeCoNiN_x多基元薄膜的成分设计 | 第68-70页 |
| 5.3 NbZrFeCoNiN_x多基元薄膜的组织结构演变 | 第70-71页 |
| 5.4 NbZrFeCoNiN_x多基元薄膜的力学性能 | 第71-73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 6 高通量研究(Ta,W)-(Cr, Fe,V)系多基元合金光热转化薄膜 | 第74-100页 |
| 6.1 引言 | 第74-75页 |
| 6.2 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)系多基元合金薄膜的高通量制备 | 第75-82页 |
| 6.2.1 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金成分梯度薄膜的制备 | 第75-78页 |
| 6.2.2 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的成分分布 | 第78-82页 |
| 6.3 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜的组织与表面形貌 | 第82-92页 |
| 6.3.1 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的相形成规律 | 第82-88页 |
| 6.3.2 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的组织与表面形貌 | 第88-92页 |
| 6.4 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的光热转化效率 | 第92-98页 |
| 6.4.1 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的光吸收率 | 第92-96页 |
| 6.4.2 (Ta,W)-(Cr, Fe,V)多基元合金薄膜的热发射率 | 第96-98页 |
| 6.5 本章小结 | 第98-100页 |
| 7 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)系多基元合金薄膜的热稳定性及力学性能 | 第100-110页 |
| 7.1 引言 | 第100页 |
| 7.2 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜的高温组织演变 | 第100-106页 |
| 7.3 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜的力学性能 | 第106-108页 |
| 7.3.1 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜的室温力学性能 | 第106-107页 |
| 7.3.2 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜力学性能的高温稳定性 | 第107-108页 |
| 7.4 本章小结 | 第108-110页 |
| 8 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)系多基元合金薄膜的耐腐蚀性与表面能 | 第110-118页 |
| 8.1 引言 | 第110页 |
| 8.2 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)系多基元合金薄膜的耐腐蚀性 | 第110-113页 |
| 8.3 (Ta,W)-(Cr,Fe,V)系多基元合金薄膜的表面润湿性 | 第113-115页 |
| 8.4 Kwok法计算(Ta,W)-(Cr,Fe,V)多基元合金薄膜的表面能 | 第115-117页 |
| 8.5 本章小结 | 第117-118页 |
| 9 结论 | 第118-121页 |
| 参考文献 | 第121-133页 |
| 附录A 本论文中涉及到的主要物理常数 | 第133-134页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第134-139页 |
| 学位论文数据集 | 第139页 |
