致谢 | 第4-5页 |
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
1 引言 | 第12-14页 |
2 文献综述 | 第14-46页 |
2.1 电子封装材料概述 | 第14-21页 |
2.1.1 电子封装材料性能指标 | 第14-16页 |
2.1.2 电子封装材料发展历程 | 第16-21页 |
2.2 金刚石增强导热复合材料 | 第21-24页 |
2.2.1 金刚石/银复合材料 | 第21-22页 |
2.2.2 金刚石/铝复合材料 | 第22-24页 |
2.2.3 金刚石/铜复合材料 | 第24页 |
2.3 金刚石/铜复合材料制备方法 | 第24-33页 |
2.3.1 SPS烧结法 | 第25-26页 |
2.3.2 PPS烧结法 | 第26-27页 |
2.3.3 热压烧结法 | 第27-28页 |
2.3.4 无压熔渗法 | 第28-29页 |
2.3.5 辅压熔渗法 | 第29-31页 |
2.3.6 高温高压法 | 第31-32页 |
2.3.7 无压烧结法 | 第32-33页 |
2.4 金刚石/铜复合材料的界面研究现状 | 第33-43页 |
2.4.1 基体合金化 | 第37-38页 |
2.4.2 金刚石表面改性 | 第38-43页 |
2.5 金刚石/铜复合材料的物理性能 | 第43-44页 |
2.5.1 金刚石/铜复合材料的导热性能 | 第43页 |
2.5.2 金刚石/铜复合材料的热膨胀性能 | 第43-44页 |
2.5.3 金刚石/铜复合材料的力学及加工性能 | 第44页 |
2.6 选题背景及意义 | 第44-46页 |
3 研究内容和实验方法 | 第46-51页 |
3.1 研究内容 | 第46页 |
3.2 实验方法 | 第46-48页 |
3.2.1 实验原料 | 第46-47页 |
3.2.2 复合材料制备方法 | 第47-48页 |
3.3 材料性能测试 | 第48-50页 |
3.3.1 密度及相对密度测量 | 第48-49页 |
3.3.2 热导率测量 | 第49页 |
3.3.3 热膨胀系数测量 | 第49页 |
3.3.4 力学性能测量 | 第49-50页 |
3.3.5 微观组织与物相分析 | 第50页 |
3.4 技术路线 | 第50-51页 |
4 金刚石表面改性研究 | 第51-63页 |
4.1 引言 | 第51-52页 |
4.2 盐浴镀覆工艺 | 第52-59页 |
4.2.1 金刚石表面盐浴镀碳化钼 | 第53-56页 |
4.2.2 金刚石表面盐浴镀碳化钨 | 第56-59页 |
4.3 金刚石表面磁控溅射镀锆 | 第59-62页 |
4.4 本章小结 | 第62-63页 |
5 金刚石表面镀铜研究 | 第63-79页 |
5.1 化学镀铜工艺 | 第63-69页 |
5.1.1 金刚石颗粒表面直接镀铜的研究 | 第65-66页 |
5.1.2 金刚石颗粒表面二次镀铜的研究 | 第66-69页 |
5.2 双镀层金刚石颗粒形貌及粒度分析 | 第69-76页 |
5.2.1 碳化铝表面镀铜的双镀层金刚石 | 第74-75页 |
5.2.2 碳化钨表面镀铜的双镀层金刚石 | 第75页 |
5.2.3 锆表面镀铜的双镀层金刚石 | 第75-76页 |
5.3 双镀层金刚石颗粒显微硬度分析 | 第76-77页 |
5.4 本章小结 | 第77-79页 |
6 金刚石/铜复合材料的显微组织 | 第79-93页 |
6.1 金刚石/铜复合材料的相对密度 | 第79-82页 |
6.2 金刚石/铜复合材料的组织分析 | 第82-91页 |
6.2.1 镀碳化钼金刚石/铜复合材料的相组成 | 第85-87页 |
6.2.2 镀碳化钨金刚石/铜复合材料的相组成 | 第87-89页 |
6.2.3 镀锆金刚石/铜复合材料的相组成 | 第89-91页 |
6.3 本章小结 | 第91-93页 |
7 金刚石/铜复合材料的热物理性能 | 第93-113页 |
7.1 金刚石/铜复合材料的热导率 | 第93-103页 |
7.1.1 镀碳化钼金刚石/铜复合材料的热导率 | 第96-97页 |
7.1.2 镀碳化钨金刚石/铜复合材料的热导率 | 第97-98页 |
7.1.3 镀锆金刚石/铜复合材料的热导率 | 第98-102页 |
7.1.4 双镀层金刚石/铜复合材料热导率对比 | 第102-103页 |
7.2 金刚石/铜复合材料热膨胀性能研究 | 第103-108页 |
7.2.1 镀碳化钼金刚石/铜复合材料热膨胀性能研究 | 第104-105页 |
7.2.2 镀碳化钨金刚石/铜复合材料热膨胀性能研究 | 第105-107页 |
7.2.3 镀锆金刚石/铜复合材料热膨胀性能研究 | 第107-108页 |
7.3 金刚石/铜复合材料的力学性能 | 第108-112页 |
7.3.1 镀碳化钼金刚石/铜复合材料的力学性能研究 | 第108-109页 |
7.3.2 镀碳化钨金刚石/铜复合材料的力学性能研究 | 第109-110页 |
7.3.3 镀锆金刚石/铜复合材料的力学性能研究 | 第110-112页 |
7.4 本章小结 | 第112-113页 |
8 结论 | 第113-115页 |
主要创新点 | 第115-116页 |
参考文献 | 第116-134页 |
作者简历及在学研究成果 | 第134-138页 |
学位论文数据集 | 第138页 |