可见—近红外微型空间调制光谱仪关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1绪论 | 第11-23页 |
| ·光谱仪的发展 | 第11-12页 |
| ·光谱仪的分类 | 第12页 |
| ·光谱仪的微型化发展趋势 | 第12-15页 |
| ·经典光谱仪的微型化发展 | 第13页 |
| ·调制光谱仪的微型化发展 | 第13-15页 |
| ·微型阿达玛变换光谱仪 | 第13-15页 |
| ·基于干涉调制的傅里叶变换光谱仪 | 第15页 |
| ·微型傅里叶变换光谱仪研究现状 | 第15-21页 |
| ·傅里叶变换光谱技术的优点 | 第15-16页 |
| ·微型傅里叶变换光谱仪器发展现状 | 第16-21页 |
| ·基于Michelson干涉仪的微型FTS | 第17-19页 |
| ·基于驻波干涉的微型FTS | 第19-20页 |
| ·基于偏振干涉的微型FTS | 第20-21页 |
| ·选题意义及主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 傅里叶变换光谱仪基本理论 | 第23-35页 |
| ·干涉图和光谱 | 第23-29页 |
| ·干涉图函数 | 第23-27页 |
| ·准单色光干涉 | 第25页 |
| ·实际光源 | 第25-27页 |
| ·功率谱和Wiener—Kintchine定理 | 第27-28页 |
| ·随机过程的时间相干 | 第28-29页 |
| ·能量谱的还原 | 第29-33页 |
| ·物理与数学谱 | 第29页 |
| ·非对称干涉图 | 第29页 |
| ·干涉图谱采样 | 第29-30页 |
| ·仪器谱线函数 | 第30-31页 |
| ·采样引起的截断效应 | 第31-32页 |
| ·干涉图切趾 | 第32-33页 |
| ·FTS仪器噪声 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 微型傅里叶变换光谱仪结构设计 | 第35-51页 |
| ·系统的结构设计与工作原理 | 第35-37页 |
| ·系统性能特点 | 第37-38页 |
| ·单元器件的结构及原理 | 第38-43页 |
| ·光源 | 第38-39页 |
| ·多级微反射镜 | 第39页 |
| ·准直系统 | 第39-41页 |
| ·分束器 | 第41-42页 |
| ·探测器 | 第42-43页 |
| ·多级微反向射镜高反膜设计 | 第43-49页 |
| ·光学薄膜矩阵理论 | 第43-48页 |
| ·可见-近红外波段高反射膜层设计 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 系统工作过程模拟分析及优化 | 第51-71页 |
| ·模拟软件的选择 | 第51-52页 |
| ·ASAP软件 | 第51-52页 |
| ·Matlab软件 | 第52页 |
| ·简化模型及模拟过程 | 第52-54页 |
| ·多级微反射镜衍射效应及表面粗糙度模拟分析及优化 | 第54-62页 |
| ·多级微反射镜衍射效应模拟及衍射距离的优化 | 第54-58页 |
| ·衍射效应模拟 | 第54-58页 |
| ·衍射距离优化 | 第58页 |
| ·多级微反射镜表面粗糙度模拟分析 | 第58-62页 |
| ·多级微反射镜表面粗糙度模拟 | 第58-62页 |
| ·多级微反射镜表面粗糙度容忍值 | 第62页 |
| ·多级微反射镜边界突变噪声及消除方法 | 第62-69页 |
| ·菲涅耳准周期近似 | 第62-63页 |
| ·衍射效应对干涉图光强分布的影响 | 第63-66页 |
| ·边界突变噪声及消除 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 多级微反射镜的制作研究 | 第71-99页 |
| ·硅的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜 | 第71-85页 |
| ·硅基多级微反射镜结构设计 | 第71-72页 |
| ·硅基多级微反射镜结构衍射效应分析 | 第72-75页 |
| ·硅基多级微反射镜的工艺设计 | 第75-76页 |
| ·硅的湿法腐蚀 | 第76-82页 |
| ·硅基多级微反射镜的制作及测试 | 第82-85页 |
| ·定位生长多层膜方法制作多级微反射镜 | 第85-98页 |
| ·定位生长多层膜方法及工艺流程 | 第85-88页 |
| ·定位生长多层膜方法的特点 | 第88页 |
| ·膜层材料的选择 | 第88-89页 |
| ·定位生长多层膜方法实验研究 | 第89-92页 |
| ·多级微反射镜台阶陡直度的研究 | 第92-94页 |
| ·多级微反射镜表面粗糙度研究 | 第94-95页 |
| ·多级微反射镜结构测试 | 第95-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第6章 结论与展望 | 第99-103页 |
| ·论文结论 | 第99-100页 |
| ·论文的创新点 | 第100页 |
| ·展望 | 第100-103页 |
| ·进一步研究工作以及优化改进方案 | 第100-101页 |
| ·红外微型FTS的集成化 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-111页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第111-113页 |
| 指导教师及作者简介 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-117页 |
