| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 ZnO材料的晶体结构和基本性质 | 第10-11页 |
| 1.2.1 ZnO材料的晶体结构特征 | 第10-11页 |
| 1.2.2 ZnO的基本性质及其应用 | 第11页 |
| 1.3 ZnO材料的制备技术 | 第11-13页 |
| 1.4 热输运理论 | 第13-15页 |
| 1.5 氧化锌热学研究现状 | 第15-16页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 实验生长设备与表征方法 | 第19-37页 |
| 2.1 磁控溅射ZnO薄膜的制备技术 | 第19-21页 |
| 2.1.1 磁控溅射法的原理及其特点 | 第19-20页 |
| 2.1.2 磁控溅射法制备ZnO系列薄膜 | 第20-21页 |
| 2.2 ZnO薄膜的表征方法 | 第21-35页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第21-23页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD) | 第23-25页 |
| 2.2.3 激光闪射导热仪(LFA) | 第25-31页 |
| 2.2.4 塞贝克系数的测量仪(MMR) | 第31-35页 |
| 参考文献 | 第35-37页 |
| 第三章 氧化锌系列薄膜基本热学性能研究 | 第37-49页 |
| 3.1 氧化锌系列薄膜的热学分析 | 第37-44页 |
| 3.1.1 ZnO与掺铝ZnO热学对比分析 | 第37-41页 |
| 3.1.2 掺铝ZnO与钴铝共掺ZnO热学对比分析 | 第41-44页 |
| 3.2 氧化锌系列薄膜的塞贝克系数分析 | 第44-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 热整流现象研究 | 第49-61页 |
| 4.1 热整流效应 | 第49-51页 |
| 4.2 实验分析部分 | 第51-55页 |
| 4.2.1 纵向的热整流研究 | 第52-53页 |
| 4.2.2 横向的热整流研究 | 第53-55页 |
| 4.3 热流设计 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 硕士期间发表论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |