| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 微压传感器类型及研究状况 | 第9-10页 |
| 1.3 压阻效应原理 | 第10-11页 |
| 1.4 压感薄膜材料介绍 | 第11-15页 |
| 1.4.1 石墨烯 | 第12-13页 |
| 1.4.2 纳米金 | 第13-14页 |
| 1.4.3 MoS_2 | 第14-15页 |
| 1.5 石墨烯压力传感器国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.5.1 石墨烯材料简介 | 第15-16页 |
| 1.5.2 石墨烯压力传感器国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.6 关键问题分析 | 第18页 |
| 1.7 本论文主要工作及纲要 | 第18-21页 |
| 第二章 石墨烯薄膜压阻特性研究与制备 | 第21-35页 |
| 2.1 引言 | 第21-22页 |
| 2.2 石墨烯材料的基本特性 | 第22-23页 |
| 2.3 压力对石墨烯材料带隙变化的影响 | 第23-27页 |
| 2.3.1 基于薄膜的大挠度理论模型 | 第23-24页 |
| 2.3.2 压力对石墨烯带隙的影响 | 第24-25页 |
| 2.3.3 压力对石墨烯中载流子迁移率的影响 | 第25-27页 |
| 2.4 石墨烯薄膜的制备 | 第27-33页 |
| 2.4.1 石墨烯薄膜的制备方法 | 第27-28页 |
| 2.4.2 石墨烯薄膜的制备步骤 | 第28-33页 |
| 2.5 小结 | 第33-35页 |
| 第三章 石墨烯压力传感器结构设计 | 第35-47页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 传感器结构可行性仿真 | 第35-37页 |
| 3.3 传感器结构制备 | 第37-45页 |
| 3.3.1 传感器结构制备流程图及常用工艺介绍 | 第37-42页 |
| 3.3.2 传感器结构制备工艺 | 第42-45页 |
| 3.4 总结 | 第45-47页 |
| 第四章 石墨烯微压传感器的测试 | 第47-55页 |
| 4.1 石墨烯微压力传感器的性能测试 | 第47-51页 |
| 4.1.1 石墨烯微压力传感器的响应时间和恢复时间测试 | 第49-50页 |
| 4.1.2 石墨烯微压力传感器的稳定性测试 | 第50-51页 |
| 4.2 石墨烯微压力传感器的灵敏度测试 | 第51-53页 |
| 4.3 总结 | 第53-55页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 工作总结 | 第55页 |
| 5.2 工作展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |