基于感应加热和石蜡复合材料的相变微驱动器研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 相变微驱动器概述 | 第10-17页 |
| 1.2.1 相变微驱动器的基本原理 | 第10-11页 |
| 1.2.2 相变微驱动器的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 课题的研究意义及内容 | 第17-20页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第17页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第17-20页 |
| 第2章 相变微驱动器方案设计 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 相关理论基础 | 第20-27页 |
| 2.2.1 感应加热理论 | 第20-23页 |
| 2.2.2 平面线圈电磁场分部规律 | 第23-25页 |
| 2.2.3 复合材料的特性 | 第25-27页 |
| 2.3 微驱动器设计 | 第27-31页 |
| 2.3.1 导电复合材料的设计 | 第27页 |
| 2.3.2 微驱动器的方案设计 | 第27-30页 |
| 2.3.3 微驱动器的结构及原理 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 微驱动器的仿真分析 | 第32-44页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 激励线圈周围磁场的仿真分析 | 第32-38页 |
| 3.2.1 仿真软件介绍 | 第32页 |
| 3.2.2 磁场仿真的理论基础 | 第32-34页 |
| 3.2.3 建模及仿真 | 第34-37页 |
| 3.2.4 仿真结果分析 | 第37-38页 |
| 3.3 复合相变材料温度场的仿真分析 | 第38-43页 |
| 3.3.1 仿真理论基础 | 第38页 |
| 3.3.2 建模及仿真 | 第38-39页 |
| 3.3.3 仿真结果分析 | 第39-40页 |
| 3.3.4 线圈对加热效果的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.5 复合材料高宽比对加热效果的影响 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 微驱动器的制作与性能测试 | 第44-58页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 微驱动器的制作 | 第44-51页 |
| 4.2.1 复合相变材料的制备及特性测试 | 第44-48页 |
| 4.2.2 PDMS键合工艺 | 第48-49页 |
| 4.2.3 微驱动器各部件制作及组装 | 第49-51页 |
| 4.3 微驱动器的性能测试实验 | 第51-56页 |
| 4.3.1 实验系统的设计 | 第51-52页 |
| 4.3.2 实验结果与分析 | 第52-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第5章 微驱动器应用于微阀的研究 | 第58-68页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 微阀结构设计 | 第58-59页 |
| 5.2.1 微阀的结构设计 | 第58-59页 |
| 5.2.2 微阀的工作过程 | 第59页 |
| 5.3 微阀的制作 | 第59-63页 |
| 5.3.1 背面曝光工艺研究 | 第59-60页 |
| 5.3.2 阀体的制作及组装 | 第60-63页 |
| 5.4 微阀的性能测试实验 | 第63-66页 |
| 5.4.1 实验系统的设计 | 第63-64页 |
| 5.4.2 实验结果与分析 | 第64-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
