MEMS引信的微装配技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-18页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第12-13页 |
| ·微装配技术研究 | 第13-14页 |
| ·微装配技术概述 | 第13页 |
| ·微装配技术中的关键问题 | 第13-14页 |
| ·微装配系统研究 | 第14-17页 |
| ·微装配系统分类 | 第14页 |
| ·国内外的研究状况 | 第14-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 MEMS 引信微装配系统方案 | 第18-24页 |
| ·微装配系统的分析 | 第18-20页 |
| ·微装配系统的构成 | 第20页 |
| ·MEMS 引信微装配系统方案 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 基于柔性铰链的微动工作台的设计及分析 | 第24-51页 |
| ·微动工作台概述 | 第24-28页 |
| ·微动工作台的分类 | 第24-25页 |
| ·微动工作台的应用领域 | 第25-26页 |
| ·国内外微动工作台的研究现状 | 第26-28页 |
| ·柔性铰链的选择与设计 | 第28-33页 |
| ·柔性铰链概述 | 第28页 |
| ·柔性铰链的分类 | 第28-30页 |
| ·柔性铰链的工作原理 | 第30页 |
| ·柔性铰链的设计 | 第30-33页 |
| ·压电陶瓷驱动器 | 第33-36页 |
| ·压电效应与电致伸缩效应 | 第33-34页 |
| ·压电陶瓷器件的结构形式 | 第34-36页 |
| ·微动工作台的结构设计及有限元静态分析 | 第36-45页 |
| ·微动工作台的设计要求 | 第36-37页 |
| ·微动工作台的技术指标 | 第37页 |
| ·微动工作台的结构设计及运动分析 | 第37-38页 |
| ·微动工作台的设计计算 | 第38-40页 |
| ·微动工作台的三维建模 | 第40页 |
| ·微动工作台的有限元静态分析 | 第40-45页 |
| ·基于拉格朗日方程的微动工作台的动态建模 | 第45-50页 |
| ·拉氏方程的原理 | 第46页 |
| ·微动工作台的固有频率的解析计算 | 第46-48页 |
| ·微动工作台的动态特性仿真 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 真空吸附台的研究与设计 | 第51-54页 |
| ·真空吸附台概述 | 第51页 |
| ·真空吸附台的结构设计 | 第51-52页 |
| ·真空吸附回路的研究与设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 基于柔性铰链二级放大微夹持器的设计及分析 | 第54-67页 |
| ·微夹持器概述 | 第54-57页 |
| ·微夹持器的基本性能要求 | 第54页 |
| ·微夹持器的分类 | 第54-57页 |
| ·微夹持器的设计方案 | 第57-58页 |
| ·微夹持器的结构设计 | 第58-62页 |
| ·微夹持器的设计要求 | 第58页 |
| ·微夹持器建模 | 第58-60页 |
| ·微夹持器放大倍数的计算 | 第60页 |
| ·微夹持器的最大应力分析与最大位移输入 | 第60-62页 |
| ·微夹持器有限元仿真 | 第62-66页 |
| ·放大倍数仿真计算 | 第62-65页 |
| ·刚度及夹持力的仿真计算 | 第65页 |
| ·微夹持器的模态分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 微动工作台及微夹持器实验测试 | 第67-80页 |
| ·微动工作台的试制 | 第67-68页 |
| ·微动工作台实验研究与分析 | 第68-73页 |
| ·实验平台的搭建 | 第68-70页 |
| ·微动工作台性能测试与分析 | 第70-73页 |
| ·微夹持器试制 | 第73页 |
| ·微夹持器实验研究与分析 | 第73-79页 |
| ·微夹持器实验平台的搭建 | 第73-74页 |
| ·微夹持器性能测试与分析 | 第74-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
