| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 引言 | 第16页 |
| 1.2 柔性薄膜场效应晶体管结构 | 第16-17页 |
| 1.3 柔性薄膜场效应晶体管的工作原理 | 第17-19页 |
| 1.4 柔性薄膜场效应晶体管性能参数 | 第19页 |
| 1.5 柔性衬底的主要材料 | 第19-20页 |
| 1.6 有源层材料介绍 | 第20-21页 |
| 1.7 柔性薄膜场效应晶体管的相关应用 | 第21-23页 |
| 1.7.1 柔性显示 | 第22页 |
| 1.7.2 柔性传感器 | 第22-23页 |
| 1.8 论文设计思路 | 第23-25页 |
| 第二章 薄膜制备方法与测试仪器 | 第25-32页 |
| 2.1 引言 | 第25-26页 |
| 2.2 薄膜制备方法 | 第26-29页 |
| 2.2.1 旋涂镀膜 | 第26-27页 |
| 2.2.2 热蒸发真空镀膜 | 第27页 |
| 2.2.3 磁控溅射镀膜 | 第27-28页 |
| 2.2.4 原子沉积镀膜 | 第28-29页 |
| 2.3 表征仪器 | 第29-32页 |
| 2.3.1 原子力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.3.2 扫描电镜 | 第30-31页 |
| 2.3.3 微操作低温探针台 | 第31-32页 |
| 第三章 酰亚胺柔性衬底的制备与表征 | 第32-38页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 柔性衬底的制备以及旋涂速率对其厚度的影响 | 第32-35页 |
| 3.2.1 实验部分 | 第32-33页 |
| 3.2.2 柔性衬底的厚度表征 | 第33-35页 |
| 3.3 衬底的形貌表征 | 第35-36页 |
| 3.4 聚酰亚胺薄膜的剥离 | 第36-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 柔性有机小分子场效应晶体管的制备与工艺优化 | 第38-48页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 制备工艺 | 第38-40页 |
| 4.3 单一介电层与复合介电层对柔性有机小分子TFT的性能影响 | 第40-43页 |
| 4.3.1 实验部分 | 第41页 |
| 4.3.2 结果与讨论 | 第41-43页 |
| 4.4 复合介电层的厚度对柔性OFET的性能影响 | 第43-46页 |
| 4.4.1 实验部分 | 第43页 |
| 4.4.2 结果与讨论 | 第43-46页 |
| 4.5 退火对柔性OFET性能的影响 | 第46页 |
| 4.5.1 实验部分 | 第46页 |
| 4.5.2 结果与讨论 | 第46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 柔性有机-无机异质结薄膜晶体管的制备与表征 | 第48-54页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 常温下柔性氧化物薄膜场效应晶体管的制备 | 第48-51页 |
| 5.2.1 实验部分 | 第48-49页 |
| 5.2.2 结果与讨论 | 第49-51页 |
| 5.3 柔性异质结双极性薄膜场效应晶体管的制备与研究 | 第51-53页 |
| 5.3.1 实验部分 | 第51页 |
| 5.3.2 结果与讨论 | 第51-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 结论与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 发表文章目录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
