| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-14页 |
| 1.1.1 MEMS研究背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 微加速度计的研究背景 | 第9-13页 |
| 1.1.3 微加速度计系统复杂动力学研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 微加速度计的国内外研究进展 | 第14-17页 |
| 1.2.1 微加速度计的结构研究进展 | 第14-15页 |
| 1.2.2 微加速度计的动力学控制研究进展 | 第15-17页 |
| 1.3 研究意义和内容 | 第17-18页 |
| 第二章 基本理论方法 | 第18-26页 |
| 2.1 平衡点的定性分析 | 第18-20页 |
| 2.1.1 平衡点存在性分析 | 第18-19页 |
| 2.1.2 平衡点的稳定性分析 | 第19-20页 |
| 2.2 周期解的稳定性分析 | 第20-23页 |
| 2.2.1 周期解的解析方法 | 第20-22页 |
| 2.2.2 周期解的稳定性 | 第22-23页 |
| 2.3 数值方法 | 第23-25页 |
| 2.3.1 映射法 | 第23页 |
| 2.3.2 Runge-Kutta法 | 第23-25页 |
| 2.4 小结 | 第25-26页 |
| 第三章 动力学模型 | 第26-31页 |
| 3.1 平行板静电驱动原理 | 第26-28页 |
| 3.2 双端电容静电驱动微加速度计 | 第28-30页 |
| 3.3 小结 | 第30-31页 |
| 第四章 动力学理论分析 | 第31-46页 |
| 4.1 平衡点稳定性分析 | 第31-35页 |
| 4.2 参数激励1:1共振情况下周期解形式 | 第35-40页 |
| 4.3 参数激励1:2共振情况下周期解形式 | 第40-45页 |
| 4.4 小结 | 第45-46页 |
| 第五章 数值模拟 | 第46-59页 |
| 5.1 激励共振1:1的情况 | 第46-53页 |
| 5.2 激励共振1:2的情况 | 第53-58页 |
| 5.3 小结 | 第58-59页 |
| 第六章 时滞位置反馈控制的系统数值模拟 | 第59-68页 |
| 6.1 考虑控制的双端电容静电驱动微加速度计 | 第59-60页 |
| 6.2 激励共振1:1的情况 | 第60-64页 |
| 6.3 激励共振1:2的情况 | 第64-67页 |
| 6.4 小结 | 第67-68页 |
| 第七章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 结论 | 第68-69页 |
| 7.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读学位期间所展开的科研项目和发表的学术论文及申请专利 | 第77页 |