| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 SECM应用简介 | 第13-15页 |
| 1.3 国内外研究现状及发展趋势 | 第15-20页 |
| 1.4 本课题的来源及主要研究内容 | 第20-21页 |
| 1.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 SECM仪器系统原理分析及总体结构设计 | 第22-33页 |
| 2.1 SECM的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2 超微电极 | 第24-25页 |
| 2.3 SECM常用的工作模式 | 第25-31页 |
| 2.3.1 反馈工作模式 | 第25-29页 |
| 2.3.2 产生/收集模式和电位测定模式 | 第29-30页 |
| 2.3.3 穿透模式、离子转移反馈模式和平衡扰动模式 | 第30-31页 |
| 2.4 SECM仪器系统总体结构 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 电化学双恒电位仪控制技术 | 第33-49页 |
| 3.1 双恒电位仪控制系统的工作原理 | 第33-35页 |
| 3.2 双恒电位仪控制系统电路设计 | 第35-45页 |
| 3.2.1 双恒电位仪电路 | 第35-38页 |
| 3.2.2 波形发生器电路 | 第38-40页 |
| 3.2.3 信号滤波电路 | 第40-42页 |
| 3.2.4 数据采集电路 | 第42-44页 |
| 3.2.5 微处理器电路 | 第44-45页 |
| 3.3 电化学双恒电位仪控制系统PCB设计 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 空间位移控制技术及压电晶体位移控制算法研究 | 第49-64页 |
| 4.1 三维机械式位移平台控制系统 | 第49-51页 |
| 4.1.1 三维机械式位移平台选型 | 第49-50页 |
| 4.1.2 三维步进电机控制技术 | 第50-51页 |
| 4.2 三维压电式位移平台控制系统 | 第51-56页 |
| 4.2.1 三维压电式位移平台选型 | 第51-52页 |
| 4.2.2 三维压电位移平台控制技术 | 第52-56页 |
| 4.3 压电晶体位移控制算法研究与测试 | 第56-64页 |
| 4.3.1 PID控制器设计及改进 | 第57-58页 |
| 4.3.2 PID控制算法测试 | 第58-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64页 |
| 第五章 SECM仪器系统机械结构设计及仿真分析 | 第64-75页 |
| 5.1 SECM仪器系统机械结构设计 | 第65-70页 |
| 5.1.1 仪器系统整体结构 | 第65-66页 |
| 5.1.2 探针电极夹持机构 | 第66页 |
| 5.1.3 电解池 | 第66-67页 |
| 5.1.4 基底水平调节机构 | 第67页 |
| 5.1.5 电磁屏蔽装置 | 第67-68页 |
| 5.1.6 减震系统参数选取 | 第68-70页 |
| 5.2 SECM机械结构稳定性有限元分析 | 第70-75页 |
| 5.2.1 有限元模型的建立 | 第70-72页 |
| 5.2.2 材料选择 | 第72页 |
| 5.2.3 边界条件及载荷 | 第72页 |
| 5.2.4 仿真分析结果 | 第72-75页 |
| 5.3 本章小结 | 第75页 |
| 第六章 SECM仪器系统上位机控制软件设计、实验验证及结果分析 | 第75-90页 |
| 6.1 上位机控制软件设计 | 第75-81页 |
| 6.1.1 GUI界面 | 第77-79页 |
| 6.1.2 业务逻辑层 | 第79-80页 |
| 6.1.3 数据传输层 | 第80-81页 |
| 6.2 仪器系统实验验证及结果分析 | 第81-89页 |
| 6.2.1 超微电极循环伏安曲线测试 | 第82页 |
| 6.2.2 探针渐进曲线测试 | 第82-84页 |
| 6.2.3 线性扫描曲线测试 | 第84页 |
| 6.2.4 SECM成像测试 | 第84-89页 |
| 6.3 本章小结 | 第89-90页 |
| 第七章 SECM图像处理技术研究 | 第90-105页 |
| 7.1 基于改进的约束最小二乘滤波算法图像处理技术 | 第90-96页 |
| 7.1.1 理论原理 | 第90-94页 |
| 7.1.2 实验结果分析 | 第94-96页 |
| 7.2 LOG算法与NEDI插值算法结合在一起的图像处理技术 | 第96-103页 |
| 7.2.1 理论原理 | 第97-99页 |
| 7.2.2 实验结果分析 | 第99-103页 |
| 7.3 本章小结 | 第103-105页 |
| 第八章 总结与展望 | 第105-108页 |
| 8.1 主要研究工作总结 | 第105-106页 |
| 8.2 论文主要创新工作 | 第106页 |
| 8.3 研究展望 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-114页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文及成果 | 第114页 |
