MOCVD原位监测系统的优化设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外MOCVD原位监测系统发展现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国外MOCVD原位监测系统发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 国内MOCVD原位监测系统发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 课题来源及研究意义 | 第15页 |
| 1.4 论文研究工作与安排 | 第15-18页 |
| 1.4.1 本文研究工作 | 第15-17页 |
| 1.4.2 本文内容安排 | 第17-18页 |
| 第2章 原位监测系统结构及原理 | 第18-30页 |
| 2.1 原位监测系统结构 | 第18-19页 |
| 2.2 信号的采集 | 第19-23页 |
| 2.2.1 微弱信号的检测 | 第20页 |
| 2.2.2 常见噪声信号 | 第20-22页 |
| 2.2.3 信号放大电路 | 第22-23页 |
| 2.3 数据处理 | 第23-26页 |
| 2.3.1 信号滤波 | 第23-24页 |
| 2.3.2 以太网通信 | 第24-25页 |
| 2.3.3 数据处理 | 第25-26页 |
| 2.4 系统开发平台 | 第26-29页 |
| 2.4.1 数字信号处理器 | 第26-27页 |
| 2.4.2 嵌入式软件 | 第27-28页 |
| 2.4.3 上位机软件开发平台 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 信号采集系统 | 第30-49页 |
| 3.1 信号调理电路设计 | 第30-39页 |
| 3.1.1 同步信号 | 第30-31页 |
| 3.1.2 激光干涉信号 | 第31页 |
| 3.1.3 红外测温信号 | 第31-33页 |
| 3.1.4 噪声性质 | 第33-35页 |
| 3.1.5 信号调理电路设计 | 第35-39页 |
| 3.2 滤波设计 | 第39-43页 |
| 3.2.1 常见滤波方法 | 第39-40页 |
| 3.2.2 FIR与IIR | 第40-41页 |
| 3.2.3 Matlab辅助设计 | 第41-42页 |
| 3.2.4 滤波器设计 | 第42-43页 |
| 3.3 硬件结构 | 第43-45页 |
| 3.3.1 模数转换模块 | 第44页 |
| 3.3.2 通信模块 | 第44-45页 |
| 3.4 程序设计 | 第45-48页 |
| 3.4.1 程序方案 | 第46-47页 |
| 3.4.2 程序流程 | 第47-48页 |
| 3.5 程序固化 | 第48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 上位机软件设计 | 第49-68页 |
| 4.1 软件结构概述 | 第49-50页 |
| 4.2 数据存取 | 第50-52页 |
| 4.2.1 数据存储 | 第50-51页 |
| 4.2.2 数据读写 | 第51-52页 |
| 4.3 数据处理 | 第52-54页 |
| 4.3.1 数据处理 | 第52-54页 |
| 4.3.2 数据筛选 | 第54页 |
| 4.4 界面设计 | 第54-60页 |
| 4.4.1 石墨盘衬底布局 | 第54-55页 |
| 4.4.2 曲线图绘制 | 第55-58页 |
| 4.4.3 历史调用 | 第58-59页 |
| 4.4.4 系统设置 | 第59-60页 |
| 4.5 程序流程图 | 第60-61页 |
| 4.6 移动端开发 | 第61-67页 |
| 4.6.1 DataSnap | 第62页 |
| 4.6.2 服务器 | 第62-64页 |
| 4.6.3 客户端 | 第64-67页 |
| 4.7 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 调试结果 | 第68-72页 |
| 5.1 信号采集系统调试 | 第68-69页 |
| 5.2 上位机调试 | 第69-71页 |
| 5.2.1 数据处理调试 | 第69-70页 |
| 5.2.2 人机界面显示 | 第70-71页 |
| 5.3 移动端调试 | 第71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72页 |
| 6.2 展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第78页 |