| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·光学薄膜监控的发展状况 | 第13-14页 |
| ·论文的主要研究内容和内容安排 | 第14-16页 |
| 第二章 光学薄膜监控原理 | 第16-33页 |
| ·光学薄膜镀制原理 | 第16-21页 |
| ·薄膜生长过程 | 第16-17页 |
| ·光学薄膜理论及常用光学薄膜 | 第17-20页 |
| ·光学镀膜机基本结构及监控系统 | 第20-21页 |
| ·光学薄膜监控 | 第21-27页 |
| ·光学薄膜极值法讨论 | 第27-31页 |
| ·MATLAB 曲线拟合与光学薄膜透过率曲线拟合 | 第27-30页 |
| ·LabVIEW 中曲线拟合与MATLAB 节点调用 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 光学薄膜的控制信号预处理 | 第33-43页 |
| ·高频噪声处理 | 第33-38页 |
| ·均值滤波 | 第33-34页 |
| ·Savitzky-Golay 平滑滤波器 | 第34-37页 |
| ·其它信号处理滤波器 | 第37-38页 |
| ·锁相放大 | 第38-42页 |
| ·锁相放大原理 | 第38-39页 |
| ·锁相放大计算机仿真以及噪声模拟 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 光学薄膜监控过程计算机仿真 | 第43-57页 |
| ·光学薄膜信号产生 | 第43-47页 |
| ·光学薄膜监控计算机仿真分析 | 第47-51页 |
| ·光学薄膜监控精度分析 | 第51-56页 |
| ·光电极值法精度讨论 | 第51-53页 |
| ·光学监控误差的补偿 | 第53-54页 |
| ·微分法监控薄膜精度分析 | 第54-55页 |
| ·光学监控误差计算机模拟 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 光学薄膜实时监控实验研究 | 第57-66页 |
| ·数据采集实验研究 | 第57-62页 |
| ·数据采集卡性能要求 | 第57-59页 |
| ·数据采集考虑因素 | 第59-61页 |
| ·数据采集结果 | 第61-62页 |
| ·光学镀膜机相关参数分析 | 第62-63页 |
| ·光学薄膜监控实验结果 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 全文总结 | 第66-68页 |
| ·本文所做工作及创新点 | 第66-67页 |
| ·有待继续研究和解决的问题 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第71-72页 |
| 指导教师及作者简介 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |