电容式微加速度计敏感元件中非理想因素的检测与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 微加速度计工作原理分析及检测电路设计 | 第18-31页 |
| 2.1 叉指式微加速度计工作原理分析 | 第18-20页 |
| 2.2 微加速度计检测电路设计 | 第20-29页 |
| 2.2.1 C-V转换模块 | 第21-24页 |
| 2.2.2 波形发生及载波分离模块 | 第24-26页 |
| 2.2.3 同步解调与差分放大模块 | 第26-29页 |
| 2.3 微加速度计样机测试 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 加速度敏感元件中的非理想因素分析 | 第31-42页 |
| 3.1 有效电容失配与寄生电容分析 | 第31-36页 |
| 3.1.1 差分有效电容失配对零偏的影响 | 第32-33页 |
| 3.1.2 寄生电容对噪声性能的影响 | 第33-36页 |
| 3.2 硅-金接触电阻分析 | 第36-39页 |
| 3.2.1 接触电阻对传递函数的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.2 接触电阻对噪声及温度漂移的影响 | 第38-39页 |
| 3.3 电容漏电流分析 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 加速度敏感元件中的非理想因素检测 | 第42-55页 |
| 4.1 微加速度计有效电容与寄生电容检测 | 第42-48页 |
| 4.1.1 MS3110芯片检测原理和使用方法 | 第42-45页 |
| 4.1.2 MS3110芯片性能测试 | 第45-46页 |
| 4.1.3 待测电容的实际测量 | 第46-48页 |
| 4.2 微加速度计接触电阻与结构体电阻检测 | 第48-53页 |
| 4.2.1 开尔文四线法检测原理 | 第48-49页 |
| 4.2.2 待测电阻的实际测量 | 第49-53页 |
| 4.3 微加速度计绝缘电阻与漏电流检测 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 微加速度计的等效电气模型及优化设计 | 第55-65页 |
| 5.1 微加速度计等效建模与性能测试 | 第55-59页 |
| 5.1.1 等效电气模型的建立 | 第55-56页 |
| 5.1.2 零偏的计算与测试 | 第56-57页 |
| 5.1.3 噪声的计算与测试 | 第57-59页 |
| 5.2 微加速度计部分性能优化 | 第59-64页 |
| 5.2.1 微加速度计的零偏优化 | 第59-61页 |
| 5.2.2 微加速度计的噪声优化 | 第61-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 本文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-79页 |
