| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 本论文研究的目的和意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 研究目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 微装配控制系统技术国内外研究现状 | 第15-24页 |
| 1.2.1 微装配的控制系统总体技术 | 第15-18页 |
| 1.2.2 微装配的运动控制与过程控制技术 | 第18-20页 |
| 1.2.3 微装配的显微视觉系统及其控制技术 | 第20-23页 |
| 1.2.4 微装配的装配精度控制技术 | 第23-24页 |
| 1.3 论文主要内容及结构安排 | 第24-27页 |
| 第2章 非硅 MEMS 柔性微装配线的控制系统总体技术 | 第27-45页 |
| 2.1 柔性微装配线的特点及控制需求分析 | 第27-31页 |
| 2.1.1 柔性微装配线的特点 | 第27-29页 |
| 2.1.2 柔性微装配线的功能及技术要求 | 第29-30页 |
| 2.1.3 柔性微装配线的系统组成 | 第30-31页 |
| 2.2 微装配线控制系统的总体技术 | 第31-41页 |
| 2.2.1 微装配线对控制系统的要求 | 第31-34页 |
| 2.2.2 控制系统的开放式总体架构技术 | 第34-40页 |
| 2.2.3 控制系统的模块化与可重配置 | 第40-41页 |
| 2.3 控制系统的模块化软件技术 | 第41-43页 |
| 2.3.1 控制系统软件的总体架构 | 第41-42页 |
| 2.3.2 控制系统的控制软件模块 | 第42-43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 控制系统的自主式单元控制模块研究 | 第45-57页 |
| 3.1 自主式控制单元的模块化设计 | 第45-49页 |
| 3.1.1 控制单元的模块化总体架构 | 第45-46页 |
| 3.1.2 单元内部的主控制模块 | 第46-47页 |
| 3.1.3 单元内部的硬逻辑扩展模块 | 第47-49页 |
| 3.2 控制单元的可重配置与可靠性设计 | 第49-52页 |
| 3.2.1 控制单元的可重配置方法 | 第49-51页 |
| 3.2.2 控制单元的可靠性与稳定性设计 | 第51-52页 |
| 3.3 控制单元的功能实验 | 第52-56页 |
| 3.3.1 控制单元 A/D 的校准与标定 | 第52-54页 |
| 3.3.2 控制单元的总线性能验证 | 第54-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 基于自主式单元控制模块的装配精度控制方法 | 第57-86页 |
| 4.1 单元控制模块的复合控制方法 | 第57-61页 |
| 4.1.1 开闭环兼容的多轴联动运动控制 | 第57-60页 |
| 4.1.2 基于控制单元的高速实时过程控制 | 第60-61页 |
| 4.2 X-Y 微动平台精密定位运动控制 | 第61-77页 |
| 4.2.1 X-Y 微动定位控制系统的构建 | 第61-62页 |
| 4.2.2 X-Y 微动定位系统的动力学分析 | 第62-68页 |
| 4.2.3 X-Y 微动定位系统的双稳闭环控制 | 第68-73页 |
| 4.2.4 X-Y 微动定位系统的瞬态响应分析 | 第73-75页 |
| 4.2.5 X-Y 微动定位系统的重复定位精度标定 | 第75-77页 |
| 4.3 装配机器人的接触力过程控制 | 第77-85页 |
| 4.3.1 力反馈装配系统硬件组成 | 第77-78页 |
| 4.3.2 力传感器的去噪与滤波 | 第78-79页 |
| 4.3.3 力传感器接触力的标定 | 第79-81页 |
| 4.3.4 接触力反馈控制实验研究 | 第81-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 面向柔性自动化微装配的显微视觉控制技术 | 第86-119页 |
| 5.1 微装配线的专用显微视觉系统设计方法 | 第86-91页 |
| 5.1.1 显微视觉系统的总体方案 | 第86-88页 |
| 5.1.2 显微视觉系统的设计原理 | 第88-90页 |
| 5.1.3 显微视觉系统的硬件实现 | 第90-91页 |
| 5.2 高分辨率原始图像采集与显示驱动技术 | 第91-95页 |
| 5.2.1 RAW 格式图像采集驱动方法 | 第91-92页 |
| 5.2.2 XGA 格式图像显示驱动方法 | 第92-95页 |
| 5.3 显微视觉系统测量精度与速度的标定 | 第95-99页 |
| 5.3.1 像素比例系数与测量精度标定方法 | 第95-97页 |
| 5.3.2 显微视觉系统测量精度的标定 | 第97-98页 |
| 5.3.3 显微视觉系统的时间消耗与测量速度 | 第98-99页 |
| 5.4 视觉对位装配系统运动学分析与建模 | 第99-106页 |
| 5.4.1 单工位视觉对位装配系统的建立 | 第99-100页 |
| 5.4.2 视觉对位装配系统的运动学分析 | 第100-105页 |
| 5.4.3 显微视觉系统的建模 | 第105-106页 |
| 5.5 基于视觉的对位装配控制策略分析 | 第106-117页 |
| 5.5.1 静态先看后动对位控制系统分析 | 第106-108页 |
| 5.5.2 基于视觉的动态反馈对位控制方法 | 第108-109页 |
| 5.5.3 双闭环视觉反馈对位控制系统分析 | 第109-114页 |
| 5.5.4 直接视觉反馈对位控制系统分析 | 第114-117页 |
| 5.6 本章小结 | 第117-119页 |
| 第6章 步进驱动系统大振荡机理与轨迹优化控制 | 第119-137页 |
| 6.1 现代步进驱动系统建模方法 | 第119-125页 |
| 6.1.1 现代步进驱动系统的控制结构 | 第120-121页 |
| 6.1.2 两相混合步进电机及负载模型 | 第121-122页 |
| 6.1.3 步进电机驱动器建模方法 | 第122-123页 |
| 6.1.4 速度轨迹控制器建模方法 | 第123-124页 |
| 6.1.5 步进驱动系统仿真模型的建立 | 第124-125页 |
| 6.2 步进驱动系统速度轨迹优化控制 | 第125-131页 |
| 6.2.1 步进驱动系统的稳态、振荡与失调 | 第125-128页 |
| 6.2.2 步进驱动系统的大振荡与丢步机理分析 | 第128-130页 |
| 6.2.3 步进驱动系统速度轨迹优化控制方法 | 第130-131页 |
| 6.3 步进驱动摆臂系统的速度轨迹优化控制 | 第131-135页 |
| 6.3.1 步进驱动摆臂系统 | 第131-132页 |
| 6.3.2 摆臂系统的速度轨迹产生方法 | 第132-133页 |
| 6.3.3 摆臂系统速度轨迹优化控制实验 | 第133-135页 |
| 6.4 本章小结 | 第135-137页 |
| 7 总结与展望 | 第137-140页 |
| 7.1 全文工作总结 | 第137-138页 |
| 7.2 课题的主要创新点 | 第138-139页 |
| 7.3 建议与展望 | 第139-140页 |
| 参考文献 | 第140-150页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第150-151页 |
| 致谢 | 第151页 |