| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光刻机国内外发展历史及现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外光刻机发展概况 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内光刻机发展概况 | 第12-13页 |
| 1.3 虚拟现实研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本文研究主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 双工件台概述及开发环境部署 | 第16-31页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 双工件台简介 | 第16-19页 |
| 2.2.1 双工件台结构 | 第16-17页 |
| 2.2.2 双工件台工作流程 | 第17-18页 |
| 2.2.3 双工件台控制系统结构与指标 | 第18-19页 |
| 2.3 双工件台模型 | 第19-23页 |
| 2.3.1 直线电机和音圈电机模型 | 第19-21页 |
| 2.3.2 单自由度宏微耦合模型 | 第21-23页 |
| 2.4 半实物仿真系统组成 | 第23-25页 |
| 2.5 仿真系统开发环境部署 | 第25-30页 |
| 2.5.1 OpenInventor 简介及开发环境部署 | 第26-27页 |
| 2.5.2 VxWorks 简介及开发环境部署 | 第27-29页 |
| 2.5.3 RTW 简介及开发环境部署 | 第29-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 双工件台三维仿真场景的建立 | 第31-53页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 双工件台几何建模 | 第31-32页 |
| 3.3 虚拟模型的简化与分解 | 第32-37页 |
| 3.3.1 模型缩放法 | 第33-34页 |
| 3.3.2 内部结构简化法 | 第34-36页 |
| 3.3.3 虚拟模型分解 | 第36-37页 |
| 3.4 双工件台系统定位模块建模 | 第37页 |
| 3.5 基于 OpenInventor 的三维仿真场景程序设计 | 第37-45页 |
| 3.5.1 OpenInventor 节点类及其管理机制 | 第37-39页 |
| 3.5.2 双工件台虚拟装配 | 第39-41页 |
| 3.5.3 仿真场景交互及场景管理 | 第41-44页 |
| 3.5.4 仿真场景程序实时性优化 | 第44-45页 |
| 3.6 双工件台运动学建模 | 第45-49页 |
| 3.7 双工件台虚拟模型的碰撞检测 | 第49-52页 |
| 3.8 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 仿真系统上位机软件设计 | 第53-77页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 上位机软件需求分析 | 第53-54页 |
| 4.3 上位机软件系统基础模块实现 | 第54-66页 |
| 4.3.1 网络通信模块实现 | 第55-61页 |
| 4.3.2 数据库模块实现 | 第61-64页 |
| 4.3.3 三维仿真平台模块实现 | 第64-66页 |
| 4.4 上位机系统的整体实现 | 第66-76页 |
| 4.4.1 用户管理功能实现 | 第67-70页 |
| 4.4.2 参数设置功能实现 | 第70-72页 |
| 4.4.3 数据处理功能实现 | 第72-74页 |
| 4.4.4 仿真测试功能实现 | 第74-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 仿真系统下位机软件设计 | 第77-90页 |
| 5.1 引言 | 第77页 |
| 5.2 IC6 主板卡程序设计 | 第77-86页 |
| 5.2.1 功能模块与任务划分 | 第78-80页 |
| 5.2.2 网络通信模块设计与优化 | 第80-82页 |
| 5.2.3 VME 读写模块配置 | 第82-86页 |
| 5.3 基于 RTW 的运动控制板卡程序设计 | 第86-89页 |
| 5.3.1 宏动单自由度模型代码生成 | 第86-88页 |
| 5.3.2 宏-微耦合模型代码生成 | 第88-89页 |
| 5.4 本章小结 | 第89-90页 |
| 第6章 系统搭建与仿真验证 | 第90-101页 |
| 6.1 引言 | 第90页 |
| 6.2 仿真系统运行环境搭建 | 第90-92页 |
| 6.3 双工件台宏动单自由度仿真实验 | 第92-96页 |
| 6.4 双工件台宏微耦合仿真实验 | 第96-97页 |
| 6.5 半实物仿真系统实时性及正确性分析 | 第97-100页 |
| 6.5.1 DSP 运算时间测试 | 第98页 |
| 6.5.2 VxWorks 任务调度及中断实时性测试 | 第98-99页 |
| 6.5.3 曲线对比分析 | 第99-100页 |
| 6.6 本章小结 | 第100-101页 |
| 结论 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-106页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
