| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-17页 |
| 1.1.1 MEMS概述 | 第13-14页 |
| 1.1.2 MEMS的应用 | 第14-16页 |
| 1.1.3 MEMS国内外发展现状 | 第16-17页 |
| 1.2 纳米接触和摩擦的力学特性研究意义 | 第17-19页 |
| 1.3 纳米接触和摩擦的力学问题研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 接触力学及摩擦力学理论 | 第25-51页 |
| 2.1 接触力学理论及模型 | 第25-34页 |
| 2.1.1 静载荷下弹性接触理论 | 第25-29页 |
| 2.1.2 动载荷(摩擦载荷)下的弹性接触 | 第29-32页 |
| 2.1.3 粗糙表面的弹性接触 | 第32-34页 |
| 2.2 摩擦理论力学理论及模型 | 第34-42页 |
| 2.2.1 宏观摩擦力学理论 | 第35-40页 |
| 2.2.2 微观摩擦理论 | 第40-42页 |
| 2.3 各向异性理论 | 第42-48页 |
| 2.4 纳米接触与摩擦力学研究方法 | 第48-49页 |
| 2.4.1 理论模拟 | 第48页 |
| 2.4.2 实验方法 | 第48-49页 |
| 2.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第三章 实验材料和方法 | 第51-67页 |
| 3.1 实验材料 | 第51-54页 |
| 3.1.1 晶体锗的晶体结构 | 第51-53页 |
| 3.1.2 晶体锗的化学性质 | 第53-54页 |
| 3.2 实验装置 | 第54-60页 |
| 3.2.1 纳米压痕仪 | 第54-55页 |
| 3.2.2 原子力显微镜(AFM) | 第55-58页 |
| 3.2.3 压头形状的影响 | 第58-60页 |
| 3.3 纳米压痕实验法及计算方法 | 第60-63页 |
| 3.3.1 纳米压痕概述 | 第60-61页 |
| 3.3.2 纳米压入接触力学特性计算方法 | 第61-63页 |
| 3.4 纳米划痕实验法及计算方法 | 第63-65页 |
| 3.4.1 纳米划痕概述 | 第63-64页 |
| 3.4.2 纳米划痕的力学特性计算方法 | 第64-65页 |
| 3.5 小结 | 第65-67页 |
| 第四章 晶体锗纳米摩擦接触力学行为实验研究 | 第67-79页 |
| 4.1 实验准备 | 第67-69页 |
| 4.2 实验过程 | 第69页 |
| 4.2.1 不同晶面取向及滑动速度的晶体锗摩擦接触实验 | 第69页 |
| 4.2.2 不同载荷的晶体锗摩擦接触实验 | 第69页 |
| 4.2.3 不同滑动速度的晶体锗摩擦接触实验 | 第69页 |
| 4.2.4 不同往复次数的晶体锗摩擦接触实验 | 第69页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第69-76页 |
| 4.3.1 不同压入载荷下晶体锗摩擦特性 | 第69-71页 |
| 4.3.2 不同晶面取向的晶体锗摩擦特性研究 | 第71-73页 |
| 4.3.3 滑动速度对晶体锗摩擦特性影响 | 第73-75页 |
| 4.3.4 往复循环次数对单晶锗摩擦特性影响 | 第75-76页 |
| 4.4 小结 | 第76-79页 |
| 第五章 晶体锗纳米接触力学行为实验研究 | 第79-91页 |
| 5.1 实验准备 | 第79页 |
| 5.2 实验过程 | 第79页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第79-88页 |
| 5.3.1 不同压入深度下晶体锗接触力学特性 | 第79-86页 |
| 5.3.2 不同晶面取向的晶体锗接触力学特性研究 | 第86-88页 |
| 5.4 小结 | 第88-91页 |
| 第六章 结论与展望 | 第91-93页 |
| 6.1. 主要工作及结论 | 第91-92页 |
| 6.2. 展望 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-101页 |
| 附录：攻读硕士学位期间研究成果 | 第101页 |