| 上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12-16页 |
| 1.1.1 微/纳谐振器的基本特征 | 第12-14页 |
| 1.1.2 微/纳谐振器的典型结构 | 第14-15页 |
| 1.1.3 微/纳谐振器的激励方式 | 第15-16页 |
| 1.2 谐振器动力学研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 光梯度力激励方式研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 孔板谐振器动力学研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文主要工作及框架 | 第20-22页 |
| 第二章 光梯度力驱动圆环辐条式纳谐振器动力学特性研究 | 第22-38页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 光梯度力特性分析 | 第22-25页 |
| 2.2.1 固有非线性特性 | 第23-24页 |
| 2.2.2 “负”弹簧效应 | 第24页 |
| 2.2.3 刚度软化效应 | 第24-25页 |
| 2.3 动力学建模与分析 | 第25-31页 |
| 2.3.1 辐条等效弹簧刚度 | 第25-26页 |
| 2.3.2 圆环辐条等效质量 | 第26-27页 |
| 2.3.3 压膜阻尼效应 | 第27-28页 |
| 2.3.4 系统动力学建模及求解 | 第28-31页 |
| 2.4 仿真及结果分析 | 第31-36页 |
| 2.4.1 参数激励和外激励响应 | 第32-34页 |
| 2.4.2 系统参数对系统响应的影响 | 第34-35页 |
| 2.4.3 分岔与混沌行为分析 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 光梯度力驱动复合梁式纳谐振器动力学特性研究 | 第38-54页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 复合梁间的光梯度力 | 第38-42页 |
| 3.2.1 复合梁基本特性 | 第38-40页 |
| 3.2.2 复合梁间的光梯度力 | 第40页 |
| 3.2.3 可调式光梯度力 | 第40-42页 |
| 3.3 动力学建模与分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 复合梁等效弹性模量 | 第42-43页 |
| 3.3.2 复合梁连续体模型建立 | 第43-45页 |
| 3.4 仿真及结果分析 | 第45-53页 |
| 3.4.1 模态分析 | 第46-48页 |
| 3.4.2 自由振动分析 | 第48-49页 |
| 3.4.3 参数激励响应 | 第49-50页 |
| 3.4.4 系统参数对系统响应的影响 | 第50-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 静电驱动孔板谐振器动力学特性分析 | 第54-82页 |
| 4.1 引言 | 第54-55页 |
| 4.2 孔板间压膜阻尼和静电力分析 | 第55-59页 |
| 4.2.1 压膜阻尼分析 | 第55-58页 |
| 4.2.2 孔状平行极板静电驱动力分析 | 第58-59页 |
| 4.3 单自由度系统动力学建模与分析 | 第59-69页 |
| 4.3.1 动力学建模与求解 | 第59-63页 |
| 4.3.2 结果分析与讨论 | 第63-69页 |
| 1）孔对静电力和压膜阻尼影响分析 | 第63-64页 |
| 2）系统动力学响应分析 | 第64-66页 |
| 3）参数对系统响应的影响 | 第66-67页 |
| 4）品质因子分析 | 第67-69页 |
| 4.4 连续体薄板动力学建模与分析 | 第69-73页 |
| 4.4.1 动力学建模与求解 | 第69-71页 |
| 4.4.2 结果分析与讨论 | 第71-73页 |
| 1）模态分析 | 第71-72页 |
| 2）系统响应分析 | 第72-73页 |
| 4.5 有限元仿真分析 | 第73-79页 |
| 4.5.1 气体压膜阻尼仿真 | 第73-76页 |
| 4.5.2 模态分析 | 第76-77页 |
| 4.5.3 极板静电耦合分析 | 第77-79页 |
| 4.6 本章小结 | 第79-82页 |
| 第五章 总结与展望 | 第82-84页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第82-83页 |
| 5.2 本文创新点 | 第83页 |
| 5.3 研究展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 致谢 | 第92-94页 |
| 攻读学位期间的学术成果 | 第94页 |