微尺度特征结构上褶皱形貌的研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 聚合物微结构加工的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.1.1 光刻技术 | 第9-10页 |
| 1.1.2 纳米压印技术 | 第10页 |
| 1.1.3 软印刷技术 | 第10-11页 |
| 1.1.4 自组装技术 | 第11-12页 |
| 1.1.5 其他技术 | 第12页 |
| 1.2 褶皱结构的研究现状及应用前景 | 第12-17页 |
| 1.2.1 褶皱图案的几种制备方法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 二维褶皱的研究进展 | 第14-15页 |
| 1.2.3 三维褶皱的研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.4 褶皱的应用 | 第16-17页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 Au/PDMS 褶皱自组装图案的研究 | 第18-35页 |
| 2.1 PDMS 性能和性质 | 第18-19页 |
| 2.2 自组装褶皱图案的产生原因 | 第19-23页 |
| 2.3 褶皱图案的实验研究 | 第23-29页 |
| 2.3.1 光栅状褶皱的制备 | 第23-26页 |
| 2.3.2 温度对褶皱形貌的影响 | 第26-27页 |
| 2.3.3 特征结构对褶皱的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.4 遮挡镀膜后褶皱的分岔现象 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜褶皱的有限元分析 | 第29-33页 |
| 2.4.1 ANSYS 中屈曲分析的一般步骤 | 第29-30页 |
| 2.4.2 薄膜拉伸的非线性屈曲分析 | 第30-31页 |
| 2.4.3 Au/PDMS 系统褶皱的屈曲分析 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 特征结构微刻划加工的有限元仿真分析 | 第35-47页 |
| 3.1 微沟槽刻划毛刺的有限元仿真分析 | 第35-41页 |
| 3.1.1 模型的建立和仿真 | 第35-37页 |
| 3.1.2 速度和刀具形状对毛刺影响的分析 | 第37-41页 |
| 3.2 微刻划实验结果与仿真结果的对比 | 第41-46页 |
| 3.2.1 聚焦离子束对微刀具的加工与制备 | 第41-45页 |
| 3.2.2 微刻划的实验结果 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 纳米管探针探测大纵深结构时假象的形成机理 | 第47-57页 |
| 4.1 实验平台 | 第47-48页 |
| 4.2 假象的特征和规律 | 第48-52页 |
| 4.3 模型的建立和实验结果 | 第52-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
