| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-21页 |
| 1.1 研究背景意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外相关研究 | 第15-19页 |
| 1.2.1 单晶金刚石机械研磨加工工艺研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 金刚石刀具研磨装置研究的现状 | 第16-17页 |
| 1.2.3 直流无刷电机发展状况及发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.2.4 音圈电机的发展和研究状况 | 第18-19页 |
| 1.3 课题来源 | 第19页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 弹性浮动研磨机理及其控制策略 | 第21-30页 |
| 2.1 弹性浮动研磨的原理 | 第21-22页 |
| 2.2 冲击扰动力学分析 | 第22-24页 |
| 2.3 弹性浮动研磨装置概述 | 第24-27页 |
| 2.3.1 主轴系统结构设计 | 第25-26页 |
| 2.3.2 进给系统结构设计 | 第26-27页 |
| 2.4 控制系统设计总体方案 | 第27-29页 |
| 2.4.1 主轴系统控制策略 | 第27-28页 |
| 2.4.2 微进给系统控制策略 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 弹性浮动研磨的主轴控制系统设计 | 第30-48页 |
| 3.1 无位置传感器无刷直流电机工作原理 | 第30-33页 |
| 3.1.1 无刷直流电机结构与原理 | 第30-31页 |
| 3.1.2 利用端电压过零检测法检测转子位置 | 第31-33页 |
| 3.2 主轴电机平稳运行的硬件系统设计 | 第33-42页 |
| 3.2.1 系统总体方案设计 | 第33页 |
| 3.2.2 TMS320F2812 DSP芯片简介 | 第33-35页 |
| 3.2.3 DSP最小系统设计 | 第35-36页 |
| 3.2.4 功率主电路设计 | 第36-37页 |
| 3.2.5 光耦电路设计 | 第37-38页 |
| 3.2.6 电流检测电路设计 | 第38-40页 |
| 3.2.7 过压欠压和过流保护电路 | 第40页 |
| 3.2.8 辅助电源电路设计 | 第40-42页 |
| 3.3 主轴电机平稳运行的软件系统设计 | 第42-47页 |
| 3.3.1 软件开发环境的介绍 | 第42-43页 |
| 3.3.2 软件系统总体结构 | 第43页 |
| 3.3.3 主程序 | 第43-44页 |
| 3.3.4 中断子程序设计 | 第44-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 弹性浮动研磨的进给控制系统设计 | 第48-62页 |
| 4.1 摇臂式音圈电机的基本原理 | 第48-51页 |
| 4.2 摇臂式音圈电机控制方案综述 | 第51-54页 |
| 4.2.1 开环电压控制方案 | 第51-52页 |
| 4.2.2 闭环电流控制方案 | 第52-53页 |
| 4.2.3 数字电压控制方案 | 第53-54页 |
| 4.3 摇臂进给机构控制方案研究 | 第54-56页 |
| 4.4 摇臂进给机构的硬件系统设计 | 第56-60页 |
| 4.4.1 音圈电机控制芯片M54544AL | 第56-58页 |
| 4.4.2 电路设计原理图 | 第58-60页 |
| 4.5 摇臂进给机构的软件系统设计 | 第60-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 实验测试与结果分析 | 第62-67页 |
| 5.1 实验设备介绍 | 第62页 |
| 5.2 主轴系统性能测试实验 | 第62-65页 |
| 5.2.1 主轴系统调试 | 第62-64页 |
| 5.2.2 主轴转速扰动测试 | 第64页 |
| 5.2.3 研磨盘端面跳动测试 | 第64-65页 |
| 5.3 音圈电机运行实验 | 第65-66页 |
| 5.4 结论 | 第66-67页 |
| 结论与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |