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硅波导特种光栅耦合器的设计与研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第1章 绪论第8-21页
    1.1 引言第8-9页
    1.2 光栅耦合器在光子集成中的发展第9-19页
        1.2.1 光栅耦合器的研究进展第10-12页
        1.2.2 垂直耦合光栅耦合器的研究进展第12-15页
        1.2.3 偏振不相关光栅耦合器的研究进展第15-17页
        1.2.4 研究现状总结第17-19页
    1.3 本文主要研究内容第19-21页
第2章 光栅耦合器反向设计方法的研究第21-27页
    2.1 引言第21页
    2.2 基于目标第一的反向设计方法第21-26页
        2.2.1 光栅耦合器结构的优化算法第23-24页
        2.2.2 目标收敛条件的研究第24-26页
    2.3 本章小结第26-27页
第3章 基于反向设计的特种光栅耦合器的设计第27-36页
    3.1 引言第27页
    3.2 垂直耦合光栅耦合器的反向设计第27-29页
    3.3 偏振不相关光栅耦合器的反向设计第29-31页
    3.4 反向设计的结果验证与误差分析第31-35页
        3.4.1 FDTD数值仿真的结果验证第31-34页
        3.4.2 制备误差分析第34-35页
        3.4.3 光纤耦合角度误差分析第35页
    3.5 本章小结第35-36页
第4章 两微米波段光栅耦合器设计第36-50页
    4.1 引言第36页
    4.2 两微米波段光栅耦合器的结构第36-41页
        4.2.1 两微米波段光栅衍射相位优化第36-39页
        4.2.2 两微米波段光栅衍射强度优化第39-41页
    4.3 两微米波段光栅耦合器数值仿真第41-49页
        4.3.1 光栅初始周期与占空比的影响第42-44页
        4.3.2 刻蚀深度对光栅耦合器性能的影响第44-45页
        4.3.3 SOI结构的选择第45-47页
        4.3.4 光栅耦合器的优化结果的讨论第47-49页
    4.4 本章小结第49-50页
第5章 光栅耦合器制备与测试研究第50-59页
    5.1 引言第50页
    5.2 光栅耦合器的制备第50-54页
    5.3 光栅耦合器测试平台搭建与测试第54-58页
    5.4 本章小结第58-59页
结论第59-61页
参考文献第61-65页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第65-67页
致谢第67页

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