| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展动态 | 第12-15页 |
| 1.2.1 全息图 | 第12页 |
| 1.2.2 MMI之间有相移器连接 | 第12-13页 |
| 1.2.3 MMI直接相连 | 第13-14页 |
| 1.2.4 蝶形MMI | 第14-15页 |
| 1.3 论文主要研究内容及创新点 | 第15-17页 |
| 第二章 基于SOI的定向耦合器的研究 | 第17-27页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 定向耦合器的设计与仿真 | 第17-23页 |
| 2.2.1 工作原理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 方案设计 | 第19-20页 |
| 2.2.3 仿真结果 | 第20-23页 |
| 2.2.3.1 R=30μm的1×3定向耦合器的仿真结果 | 第20-22页 |
| 2.2.3.2 R=10μm的1×3定向耦合器的仿真结果 | 第22-23页 |
| 2.3 绝热耦合器的设计与仿真 | 第23-25页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3.2 方案设计 | 第24页 |
| 2.3.3 仿真结果 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 基于SOI的多模干涉耦合器的研究 | 第27-45页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 多模干涉耦合器原理 | 第27-30页 |
| 3.2.1 自映像原理 | 第27-29页 |
| 3.2.2 MMI耦合器的主要性能指标 | 第29-30页 |
| 3.3 准任意分光的1×3MMI耦合器 | 第30-43页 |
| 3.3.1 分光比为1:1:1的1×3MMI耦合器 | 第31-32页 |
| 3.3.2 分光比为1:2:1的1×3MMI耦合器 | 第32-41页 |
| 3.3.2.1 有矩形缺口的1×3MMI耦合器 | 第32-39页 |
| 3.3.2.2 有三角形缺口的1×3MMI耦合器 | 第39-41页 |
| 3.3.3 其他分光比的1×3MMI耦合器 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 耦合器的制作与器件测试 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 1×3定向耦合器的制作与测试 | 第45-50页 |
| 4.2.1 1×3定向耦合器的制作 | 第45-49页 |
| 4.2.2 1×3定向耦合器的测试与结果分析 | 第49-50页 |
| 4.3 1×3MMI耦合器的制作与测试 | 第50-53页 |
| 4.3.1 1×3MMI耦合器的制作 | 第50-52页 |
| 4.3.2 1×3MMI耦合器的测试与结果分析 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-58页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第55-57页 |
| 5.2 工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表情况 | 第62页 |
