| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 表面等离激元简介 | 第9-13页 |
| 1.3 国内外研究现状及存在的问题 | 第13-18页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及章节安排 | 第18-21页 |
| 2 理论基础 | 第21-29页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 MIS结构与原理 | 第21-24页 |
| 2.3 半导体复介电常数 | 第24-26页 |
| 2.4 MIS结构量子力学模型 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 求解算法及仿真结果分析 | 第29-41页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 用到的数值求解方法 | 第29-33页 |
| 3.3 自洽求解薛定谔-泊松方程 | 第33-34页 |
| 3.4 仿真结果分析 | 第34-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 MIS结构的模式分析 | 第41-47页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 电子积累区的模式分析 | 第41-44页 |
| 4.3 MIS结构中的SPP模式 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 MIS-SPP模式的局域特性及在调制器中的应用 | 第47-53页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 MIS-SPP模式的局域特性 | 第47-49页 |
| 5.3 基于MIS-SPP波导的Si基调制器 | 第49-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 总结 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录 1：攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第61-62页 |
| 附录 2：论文中数值计算所用参数值 | 第62页 |