硅基多波长布拉格波导光栅阵列

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第7-22页
1.1 课题研究背景	第7-9页
1.2 多波长DFB激光器阵列概述	第9-15页
1.3 硅基激光器概述	第15-17页
1.4 硅基布拉格波导光栅	第17-20页
1.5 本论文的研究内容及创新点	第20-22页
2 DFB激光器的研究	第22-30页
2.1 布拉格光栅衍射理论	第22-23页
2.2 DFB激光器的分类	第23-26页
2.3 耦合模理论	第26-29页
2.4 本章小结	第29-30页
3 DFB激光器芯片制造工艺	第30-45页
3.1 DFB激光器芯片制作的基本工艺	第30-34页
3.2 DFB激光器芯片的制作流程	第34-38页
3.3 布拉格光栅的制备	第38-42页
3.4 DFB激光器的测试和分析	第42-44页
3.5 本章小结	第44-45页
4 硅基多波长布拉格波导光栅阵列	第45-54页
4.1 硅基多波长布拉格波导光栅的制备	第45-49页
4.2 硅基多波长布拉格波导光栅的测试及分析	第49-53页
4.3 本章小结	第53-54页
5 全文总结与展望	第54-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-61页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录	第61页