| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 透明导电薄膜的分类 | 第11-12页 |
| 1.3 透明导电氧化物薄膜应用及现状 | 第12-14页 |
| 1.4 透明导电AZO薄膜的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.5 AZO/Ag NWs/AZO三明治结构的研究进展 | 第17页 |
| 1.6 目前存在的主要问题 | 第17-18页 |
| 1.7 本论文的研究目的、思路和内容 | 第18-20页 |
| 1.7.1 本论文的研究目的及研究思路 | 第18-19页 |
| 1.7.2 本论文的主要内容 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-25页 |
| 第二章 磁控溅射技术制备AZO薄膜 | 第25-49页 |
| 2.1 前言 | 第25页 |
| 2.2 AZO透明导电薄膜的制备过程和表征方法 | 第25-29页 |
| 2.2.1 AZO透明导电薄膜的制备过程 | 第25-27页 |
| 2.2.2 AZO透明导电薄膜的表征方法 | 第27-29页 |
| 2.3 不同工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响 | 第29-45页 |
| 2.3.1 磁控溅射功率对AZO薄膜性能的影响 | 第29-35页 |
| 2.3.2 工作气压对AZO薄膜性能的影响 | 第35-40页 |
| 2.3.3 靶材与基底的距离对AZO薄膜性能的影响 | 第40-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第三章 构筑多层结构的AZO透明导电薄膜 | 第49-67页 |
| 3.1 前言 | 第49-50页 |
| 3.2 多元醇法制备纳米银线 | 第50-53页 |
| 3.2.1 实验部分 | 第50页 |
| 3.2.2 对银纳米线的XRD、SEM、TEM、吸收光谱的分析 | 第50-53页 |
| 3.3 柔性基底上构筑Ag NWs/AZO双层结构薄膜 | 第53-56页 |
| 3.3.1 实验部分 | 第53-54页 |
| 3.3.2 纳米银线质量的不同对薄膜形貌及光电性能的影响 | 第54-56页 |
| 3.4 玻璃基底上构筑AZO/Ag NWs/AZO“三明治”结构薄膜 | 第56-63页 |
| 3.4.1 实验部分 | 第56-57页 |
| 3.4.2 AZO/AgNWs/AZO“三明治”结构薄膜形貌和结构的分析 | 第57-58页 |
| 3.4.3 纳米银线浓度的不同对三明治结构薄膜的影响 | 第58-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 第四章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 4.1 主要结论 | 第67-68页 |
| 4.2 展望 | 第68-69页 |
| 硕士期间发表和已完成的论文与工作 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
