金刚石生长及加工过程中的力学行为研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 课题来源及研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-21页 |
| 1.2.1 国外研究现状及分析 | 第11-19页 |
| 1.2.2 国内研究现状及分析 | 第19-21页 |
| 1.3 国内外文献综述的简析 | 第21-22页 |
| 1.4 本文的研究意义与主要内容 | 第22-24页 |
| 1.4.1 本文研究意义 | 第22-23页 |
| 1.4.2 本文主要内容 | 第23-24页 |
| 第2章 实验方法及表征手段 | 第24-35页 |
| 2.1 金刚石的制备 | 第24-30页 |
| 2.1.1 单晶金刚石的制备 | 第24-27页 |
| 2.1.2 多晶金刚石的制备 | 第27-30页 |
| 2.2 金刚石的形貌表征方法 | 第30-31页 |
| 2.2.1 激光共聚焦显微镜 | 第30-31页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜（SEM）观察晶体形貌 | 第31页 |
| 2.3 应力检测方法 | 第31-34页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪（XRD）测定残余应力 | 第31-32页 |
| 2.3.2 拉曼（Raman）散射峰计算晶体应力 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 CVD单晶金刚石裂纹扩展的机理研究 | 第35-44页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 单晶金刚石脆性破坏行为的理论分析 | 第35-36页 |
| 3.3 激光切割能量分析 | 第36-42页 |
| 3.4 单晶金刚石内部裂纹长度 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 激光切割CVD金刚石断裂行为研究 | 第44-55页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 激光切割CVD金刚石处理 | 第44-45页 |
| 4.3 激光共聚焦显微镜观测结果及分析 | 第45-47页 |
| 4.4 Raman光谱测试结果及分析 | 第47-51页 |
| 4.5 扫描电镜测试结果及分析 | 第51-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 多晶金刚石热应力的有限元仿真研究 | 第55-70页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 有限元模型的建立与实验验证 | 第55-60页 |
| 5.2.1 有限元模型的简化假设 | 第55-56页 |
| 5.2.2 ANSYS有限元模型的建立及结果 | 第56-60页 |
| 5.3 ANSYS有限元仿真分析 | 第60-68页 |
| 5.3.1 CVD多晶金刚石热应力仿真结果分析 | 第60页 |
| 5.3.2 工艺参数对多晶金刚石膜热应力影响 | 第60-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 多晶金刚石膜残余应力的研究 | 第70-77页 |
| 6.1 引言 | 第70页 |
| 6.2 残余应力理论分析 | 第70-71页 |
| 6.3 扫描电镜测试结果及分析 | 第71-72页 |
| 6.4 拉曼光谱残余应力测试结果及分析 | 第72-76页 |
| 6.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表的成果 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
