| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 绝对距离干涉测量方法 | 第9-12页 |
| 1.2.1 多波长干涉测量方法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 频率扫描干涉测量方法 | 第10-11页 |
| 1.2.3 基于飞秒光学频率梳的测量方法 | 第11-12页 |
| 1.3 研究现状分析 | 第12-14页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 频率扫描测量原理与关键技术研究 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 频率扫描测量原理与特性 | 第16-18页 |
| 2.2.1 绝对距离测量原理 | 第16-17页 |
| 2.2.2 影响测距精度的主要因素 | 第17-18页 |
| 2.3 高速同步干涉信号采集与相位测量技术 | 第18-26页 |
| 2.3.1 干涉相位测量技术 | 第19-24页 |
| 2.3.2 干涉信号非线性修正技术 | 第24-26页 |
| 2.4 基于干涉相位最小二乘拟合的距离解算方法 | 第26-28页 |
| 2.5 参考干涉仪恒温控制技术 | 第28-32页 |
| 2.5.1 温度测量方案设计 | 第29-30页 |
| 2.5.2 温度控制单元设计 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 绝对测距系统方案设计 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 测距系统总体结构 | 第33页 |
| 3.3 高速同步干涉信号采集与相位测量单元 | 第33-40页 |
| 3.3.1 高速同步干涉信号采集与相位测量单元硬件设计 | 第33-37页 |
| 3.3.2 高速同步干涉信号采集与相位测量单元程序设计 | 第37-40页 |
| 3.4 参考干涉仪恒温控制单元设计 | 第40-45页 |
| 3.4.1 恒温控制单元硬件设计 | 第40-44页 |
| 3.4.2 参考干涉仪温度控制算法实现 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 绝对测距系统性能测试 | 第46-57页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 测距系统搭建 | 第46-47页 |
| 4.3 参考干涉仪恒温控制单元测试 | 第47-48页 |
| 4.4 高速同步干涉信号采集与相位测量单元测试 | 第48-52页 |
| 4.4.1 AD有效位数测试 | 第48-49页 |
| 4.4.2 FIR滤波测试 | 第49-50页 |
| 4.4.3 非线性修正测试 | 第50-51页 |
| 4.4.4 相位测量测试 | 第51-52页 |
| 4.5 绝对测距系统整体测试 | 第52-56页 |
| 4.5.1 测量重复性测试 | 第52-54页 |
| 4.5.2 测量验证实验 | 第54-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62页 |