基于多孔硅一维光子晶体微阵列器件的研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 多孔硅的概述 | 第7-10页 |
| 1.1.1 多孔硅的基本概念 | 第7页 |
| 1.1.2 多孔硅的研究历史及现状 | 第7-10页 |
| 1.2 生物芯片的概述 | 第10-12页 |
| 1.2.1 生物芯片的基本概念 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微阵列芯片的研究历史及现状 | 第11-12页 |
| 1.3 多孔硅在生物传感器中的应用 | 第12-13页 |
| 1.4 论文概要及研究意义 | 第13页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 微阵列芯片及多孔硅的制备 | 第15-23页 |
| 2.1 介绍 | 第15页 |
| 2.2 微阵列芯片的制备流程 | 第15-17页 |
| 2.2.1 实验设备及材料 | 第15页 |
| 2.2.2 微阵列芯片的制备 | 第15-17页 |
| 2.3 多孔硅的发光机理 | 第17页 |
| 2.4 多孔硅的制备 | 第17-18页 |
| 2.5 多孔硅一维光子晶体结构 | 第18-22页 |
| 2.5.1 多孔硅布拉格反射镜 | 第19-20页 |
| 2.5.2 多孔硅微腔 | 第20-22页 |
| 2.6 小结 | 第22-23页 |
| 第三章 多孔硅布拉格反射镜的微阵列芯片的检测 | 第23-30页 |
| 3.1 介绍 | 第23页 |
| 3.2 实验部分 | 第23-27页 |
| 3.2.1 实验材料与仪器 | 第23-24页 |
| 3.2.2 多孔硅器件的制备 | 第24-27页 |
| 3.3 多孔硅布拉格反射镜微阵列光学特性分析系统 | 第27-28页 |
| 3.4 用数字图像显示阵列单元亮度 | 第28页 |
| 3.5 小结 | 第28-30页 |
| 第四章 多孔硅微腔的微阵列芯片的折射率变化检测 | 第30-41页 |
| 4.1 介绍 | 第30页 |
| 4.2 多孔硅微腔的微阵列制作 | 第30-33页 |
| 4.2.1 实验材料与仪器 | 第30-31页 |
| 4.2.2 多孔硅微阵列器件的制备 | 第31-33页 |
| 4.3 多孔硅微腔微阵列芯片光学特性分析系统 | 第33-34页 |
| 4.4 用数字图像显示阵列单元亮度 | 第34-35页 |
| 4.5 结果分析 | 第35-39页 |
| 4.6 小结 | 第39-41页 |
| 第五章 总结和展望 | 第41-43页 |
| 5.1 结论 | 第41页 |
| 5.2 创新点 | 第41-42页 |
| 5.3 展望 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-52页 |
| 硕士期间工作成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
