| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 声表面波气体传感器的概述 | 第11-15页 |
| 1.2.1 声表面波气体传感器的发展及现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 延迟线型声表面波传感器 | 第12页 |
| 1.2.3 谐振器型声表面波传感 | 第12-13页 |
| 1.2.4 敏感吸附膜 | 第13-14页 |
| 1.2.5 声表面波气体传感器的工作原理 | 第14-15页 |
| 1.3 ZnO纳米材料的概述 | 第15-18页 |
| 1.3.1 ZnO纳米薄膜制备方法 | 第16-18页 |
| 1.3.2 一维ZnO纳米结构制备方法 | 第18页 |
| 1.4 本论文的主要贡献与创新 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的实验思路 | 第19-21页 |
| 第二章 实验试剂与设备以及测试方法 | 第21-29页 |
| 2.1 制备声表面波传感器的器材 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第21页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第21-22页 |
| 2.2 表征设备 | 第22-23页 |
| 2.3 测试设备 | 第23页 |
| 2.4 声表面波传感器制备 | 第23-24页 |
| 2.5 声表面波传感器测试 | 第24-25页 |
| 2.6 声表面波传感器的气敏特性测试 | 第25-27页 |
| 2.7 声表面波传感器的UV特性测试 | 第27-28页 |
| 2.8 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 ZnO纳米薄膜声表面波传感器制备及气敏和UV测试 | 第29-47页 |
| 3.1 制备ZnO纳米薄膜声表面波气体传感器制备 | 第29-30页 |
| 3.2 ZnO纳米薄膜的表征 | 第30-33页 |
| 3.2.1 结构表征 | 第30页 |
| 3.2.2 形貌表征 | 第30-32页 |
| 3.2.3 UV透过率与吸收表征 | 第32-33页 |
| 3.3 声表面波传感器气敏特性测试 | 第33-35页 |
| 3.3.1 气敏测试结果 | 第33-35页 |
| 3.3.2 气敏响应机理 | 第35页 |
| 3.4 声表面波传感器UV特性检测 | 第35-37页 |
| 3.4.1 UV测试结果 | 第35-37页 |
| 3.4.2 UV响应机理 | 第37页 |
| 3.5 影响ZnO纳米薄膜的因素 | 第37-43页 |
| 3.6 频率响应为正值的ZnO纳米薄膜声表面波传感器 | 第43-45页 |
| 3.6.1 制备声表面波传感器 | 第43-44页 |
| 3.6.2 测试结果与分析 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 ZnO纳米棒阵列声表面波传感器制备及气敏与UV检测 | 第47-59页 |
| 4.1 ZnO纳米阵列声表面波传感器制备 | 第47-49页 |
| 4.1.1 ZnO纳米阵列的制备 | 第47-48页 |
| 4.1.2 无种子层ZnO纳米阵列的制备 | 第48-49页 |
| 4.2 声表面波器件的测试 | 第49页 |
| 4.3 ZnO纳米棒阵列结构表征 | 第49-52页 |
| 4.3.1 结构表征 | 第49-50页 |
| 4.3.2 形貌表征 | 第50-51页 |
| 4.3.3 UV透过率表征 | 第51-52页 |
| 4.4 声表面波传感器气敏特性测试 | 第52-56页 |
| 4.4.1 气敏检测结果 | 第52-55页 |
| 4.4.2 气敏响应机理 | 第55-56页 |
| 4.5 声表面波传感器紫外特性检测 | 第56-58页 |
| 4.5.1 检测结果 | 第56-57页 |
| 4.5.2 响应机理 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 ZnS纳米片声表面波传感器制备及气敏检测 | 第59-65页 |
| 5.1 ZnS纳米片结构声表面波传感器的制备 | 第59-60页 |
| 5.1.1 ZnS纳米片的制备 | 第59-60页 |
| 5.1.2 ZnS纳米片声表面波传感器的制备 | 第60页 |
| 5.2 ZnS纳米片的表征及讨论 | 第60-61页 |
| 5.2.1 形貌表征 | 第60-61页 |
| 5.2.2 结构表征 | 第61页 |
| 5.3 气敏测试结果 | 第61-63页 |
| 5.4 响应机理 | 第63-64页 |
| 5.5 本章小节 | 第64-65页 |
| 第六章 总结和展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文总结 | 第65页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第73-74页 |
