| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第8-9页 |
| 第二章 主要研究内容介绍 | 第9-25页 |
| 2.1 直拉法单晶硅生产工艺介绍 | 第10-14页 |
| 2.2 单晶炉控制系统介绍 | 第14-18页 |
| 2.2.1 主控制器部分 | 第15-17页 |
| 2.2.2 辅助控制器部分 | 第17-18页 |
| 2.3 晶体生长模型分析 | 第18-25页 |
| 2.3.1 热场模型分析 | 第19-21页 |
| 2.3.2 影响晶棒直径的因素分析 | 第21-25页 |
| 第三章 无味卡尔曼滤波算法原理 | 第25-34页 |
| 3.1 无味变换(Unscented Transformation,UT) | 第25-30页 |
| 3.1.1 基于对称型σ点集选取方法的无味变换 | 第27-28页 |
| 3.1.2 基于单边型σ点集选取方法的无味变换 | 第28-29页 |
| 3.1.3 基于变尺度σ点集选取方法的无味变换 | 第29-30页 |
| 3.2 无味卡尔曼滤波器(Unscented Kalman Filter)的设计 | 第30-34页 |
| 第四章 实验结果 | 第34-44页 |
| 4.1 EKF和UKF的一般比较 | 第34-37页 |
| 4.1.1 初始分布情况对EKF和UKF效果的影响 | 第34-36页 |
| 4.1.2 系统非线性程度对EKF和UKF效果的影响 | 第36-37页 |
| 4.2 EKF和不同σ点集选取规则下的UKF的状态估计效果比较 | 第37-42页 |
| 4.2.1 EKF和UKF估计效果的比较 | 第37-39页 |
| 4.2.2 不同σ点集对UKF估计效果的影响 | 第39-42页 |
| 4.3 实验结论与展望 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 在学期间的研究成果 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
