全息凹面光栅设计理论扩展及曝光系统检测技术研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-18页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第14-16页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.1 全息凹面光栅的设计理论研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.2 弱光光谱检测研究现状 | 第20页 |
| 1.2.3 曝光系统检测装调研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3 论文主要研究内容和结构安排 | 第22-26页 |
| 1.3.1 论文主要内容 | 第22-23页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第23-26页 |
| 第2章 全息凹面光栅设计理论及应用 | 第26-58页 |
| 2.1 引言 | 第26-27页 |
| 2.2 凹面光栅的符号规则 | 第27页 |
| 2.3 费马原理 | 第27-28页 |
| 2.4 衍射光栅的光程函数 | 第28-31页 |
| 2.5 全息凹面光栅的像差理论 | 第31-38页 |
| 2.5.1 全息凹面光栅的像差系数表达式 | 第31-35页 |
| 2.5.2 全息凹面光栅的使用结构 | 第35-38页 |
| 2.6 全息凹面光栅的光线追迹理论 | 第38-43页 |
| 2.7 全息凹面光栅的设计方法 | 第43-49页 |
| 2.7.1 基于像差函数的优化方法 | 第43-44页 |
| 2.7.2 基于点列图的优化方法 | 第44页 |
| 2.7.3 基于子午弧矢聚焦曲线拟合的优化方法 | 第44-46页 |
| 2.7.4 设计方法的比较 | 第46-49页 |
| 2.8 高分辨率罗兰光栅的优化设计实例 | 第49-56页 |
| 2.8.1 罗兰光栅的弧矢像差校正 | 第49-51页 |
| 2.8.2 罗兰圆全息光栅的像差平衡 | 第51-52页 |
| 2.8.3 设计结果 | 第52-56页 |
| 2.9 本章小结 | 第56-58页 |
| 第3章 全息凹面光栅设计理论扩展 | 第58-72页 |
| 3.1 引言 | 第58-59页 |
| 3.2 结合球面聚焦镜的全息凹面光栅模型 | 第59-61页 |
| 3.3 一体化设计方法的几何像差表达式 | 第61-64页 |
| 3.4 目标函数的建立 | 第64页 |
| 3.5 一体化优化设计实例 | 第64-71页 |
| 3.5.1 使用结构及参数分析 | 第64-66页 |
| 3.5.2 一体化设计和传统设计方法对比分析 | 第66-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 全息凹面光栅曝光系统检测装调方法改进 | 第72-116页 |
| 4.1 引言 | 第72-73页 |
| 4.2 基本原理 | 第73-77页 |
| 4.2.1 全息凹面曝光系统检测装调模型 | 第73-76页 |
| 4.2.2 Moiré条纹检测装调原理 | 第76-77页 |
| 4.3 计算机辅助检测装调模型 | 第77-87页 |
| 4.3.1 装调方程Ax+H=ΔF | 第77-79页 |
| 4.3.2 装调量的测量与计算 | 第79-84页 |
| 4.3.3 检测装调最优化方法 | 第84-87页 |
| 4.4 Moiré条纹精密检测装调算法流程 | 第87-88页 |
| 4.5 Moiré条纹图像预处理 | 第88-96页 |
| 4.5.1 边缘提取 | 第89-93页 |
| 4.5.2 仿射变换 | 第93-94页 |
| 4.5.3 滤波处理 | 第94-96页 |
| 4.6 相位解包裹 | 第96-98页 |
| 4.7 离散相位数据的拟合 | 第98-104页 |
| 4.7.1 离散数据的均方差拟合 | 第98-100页 |
| 4.7.2 Gram-Schmidt正交化 | 第100-103页 |
| 4.7.3 像差多项式系数的计算 | 第103-104页 |
| 4.8 曝光系统检测装调算法 | 第104-112页 |
| 4.8.1 Moiré检测装调算法模拟 | 第105-108页 |
| 4.8.2 检测装调实验 | 第108-112页 |
| 4.9 误差分析 | 第112-114页 |
| 4.10 本章小结 | 第114-116页 |
| 第5章 大相对孔径全息凹面光栅研制 | 第116-132页 |
| 5.1 引言 | 第116-117页 |
| 5.2 大相对孔径全息凹面光栅设计 | 第117-123页 |
| 5.2.1 单色仪光栅曝光参数设计 | 第118-121页 |
| 5.2.2 单色仪光栅效率设计 | 第121-123页 |
| 5.3 大相对孔径全息凹面光栅制作 | 第123-131页 |
| 5.3.1 制作工艺介绍 | 第123-127页 |
| 5.3.2 曝光系统调试 | 第127-130页 |
| 5.3.3 凹面光栅的制作 | 第130-131页 |
| 5.4 本章小结 | 第131-132页 |
| 第6章 总结与展望 | 第132-134页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第132页 |
| 6.2 展望 | 第132-134页 |
| 参考文献 | 第134-144页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第144-146页 |
| 指导教师及作者简介 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148页 |
