| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 字母注释表 | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-26页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外超声加工技术研究 | 第17-20页 |
| 1.2.1 超声加工的定义及发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.2.2 国外超声加工技术研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.3 国内超声加工技术研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 国内外刀具负载匹配系统技术研究 | 第20-25页 |
| 1.3.1 负载匹配系统的定义及作用 | 第20-21页 |
| 1.3.2 国内外刀具负载匹配系统研究进展 | 第21-24页 |
| 1.3.3 刀具负载匹配系统的分类及特点。 | 第24-25页 |
| 1.4 课题的提出及本文的研究内容 | 第25-26页 |
| 1.4.1 课题的现实背景 | 第25页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 旋转超声加工负载匹配系统的设计 | 第26-46页 |
| 2.1 超声振动理论与设计 | 第26-34页 |
| 2.1.1 超声振动系统工作原理 | 第26-27页 |
| 2.1.2 超声加工硬脆性材料去除机理 | 第27-28页 |
| 2.1.3 超声装置的设计 | 第28-34页 |
| 2.2 负载匹配系统原理与设计 | 第34-39页 |
| 2.2.1 负载匹配系统构成及工作原理 | 第34-36页 |
| 2.2.2 气浮工作台结构设计 | 第36-39页 |
| 2.2.3 气动模块设计 | 第39页 |
| 2.3 电气控制柜及软件控制系统的设计 | 第39-42页 |
| 2.3.1 电气控制柜布置图 | 第39-40页 |
| 2.3.2 软件控制系统的设计及模块分解 | 第40-42页 |
| 2.4 性能测试 | 第42-45页 |
| 2.4.1 超声振动系统性能测试 | 第42-44页 |
| 2.4.2 负载匹配系统性能测试 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 铁氧体材料微孔加工工艺试验 | 第46-70页 |
| 3.1 试验设置 | 第46-49页 |
| 3.1.1 微孔加工技术介绍 | 第46页 |
| 3.1.2 试验装置 | 第46-49页 |
| 3.2 单因素试验与结果分析 | 第49-57页 |
| 3.2.1 刀具参数单因素试验 | 第49-53页 |
| 3.2.2 超声单因素试验 | 第53-57页 |
| 3.3 材料特性对加工质量的影响 | 第57-66页 |
| 3.3.1 微波铁氧体材料显微组织及物理特性 | 第57-58页 |
| 3.3.2 微波铁氧体的机械性能 | 第58-62页 |
| 3.3.3 实验设置 | 第62-63页 |
| 3.3.4 实验结果与分析 | 第63-66页 |
| 3.4 加工缺陷分析 | 第66-69页 |
| 3.4.1 材料断裂 | 第66-67页 |
| 3.4.2 崩边现象 | 第67-68页 |
| 3.4.3 锥孔问题 | 第68-69页 |
| 3.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第四章 石榴石铁氧体材料微孔加工工艺实验 | 第70-99页 |
| 4.1 试验设置 | 第70-71页 |
| 4.2 Φ 1.0mm孔径微孔超声加工试验结果与分析 | 第71-83页 |
| 4.2.1 无气浮工作台状态下加工参数对加工质量的影响 | 第71-77页 |
| 4.2.2 有气浮工作台状态下加工参数对加工质量的影响 | 第77-83页 |
| 4.3 Φ 2.0mm孔径微孔超声加工试验结果与分析 | 第83-93页 |
| 4.3.1 无气浮工作台状态下加工参数对加工质量的影响 | 第83-88页 |
| 4.3.2 有气浮工作台状态下加工参数对加工质量的影响 | 第88-93页 |
| 4.4 斜孔加工试验与分析 | 第93-98页 |
| 4.4.1 实验设置 | 第93-94页 |
| 4.4.2 实验结果与分析 | 第94-98页 |
| 4.5 本章小结 | 第98-99页 |
| 第五章 结论与展望 | 第99-101页 |
| 5.1 结论 | 第99-100页 |
| 5.2 展望 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
