| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 几种常见的气体传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.1 催化燃烧式气体传感器 | 第9页 |
| 1.2.2 电化学式气体传感器 | 第9页 |
| 1.2.3 声波型气体传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.4 光学式气体传感器 | 第10页 |
| 1.2.5 半导体电阻式气体传感器 | 第10页 |
| 1.3 基于ZnO纳米材料的高温气体传感器概述 | 第10-17页 |
| 1.3.1 气体在半导体表面的化学吸附过程 | 第11页 |
| 1.3.2 ZnO探测NO_2的原理 | 第11-12页 |
| 1.3.3 气体传感器性能参数及其定义 | 第12-13页 |
| 1.3.4 提高ZnO纳米材料NO_2气体传感器灵敏度的几种方法 | 第13-17页 |
| 1.4 紫外光调控基于ZnO纳米材料的室温气体传感器 | 第17-19页 |
| 1.4.1 ZnO对紫外光的响应 | 第17页 |
| 1.4.2 ZnO纳米材料在紫外光调控室温气体传感器中的应用 | 第17-19页 |
| 1.5 选题思路及研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 ZnO纳米薄膜的制备及其在室温黑暗条件下气敏性能测试 | 第21-34页 |
| 2.1 实验药品、气体和实验设备 | 第21-23页 |
| 2.2 ZnO纳米薄膜的制备及表征 | 第23-28页 |
| 2.2.1 前驱体溶液的配制 | 第23页 |
| 2.2.2 ZnO纳米薄膜的制备及其形貌和厚度表征 | 第23-26页 |
| 2.2.3 ZnO纳米材料物相表征 | 第26-28页 |
| 2.3 ZnO纳米薄膜气体传感器的制作和气体传感器测试装置 | 第28-30页 |
| 2.3.1 ZnO纳米薄膜气体传感器的制作 | 第28-29页 |
| 2.3.2 气体传感器测试系统 | 第29-30页 |
| 2.4 室温黑暗条件下工作的ZnO纳米薄膜NO_2气体传感器 | 第30-33页 |
| 2.4.1 室温黑暗条件下ZnO纳米薄膜NO_2气体传感器测试 | 第30-31页 |
| 2.4.2 室温黑暗条件下ZnO纳米薄膜NO_2气体传感器性能较差的解释 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 紫外光调控的ZnO纳米薄膜室温NO_2气体传感器 | 第34-50页 |
| 3.1 ZnO纳米薄膜表面吸附氧随紫外光光强的变化 | 第34-37页 |
| 3.2 不同光强紫外光对ZnO纳米薄膜NO_2气体传感器性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.3 紫外光调控ZnO纳米薄膜NO_2气体传感器灵敏度的机理探究 | 第39-42页 |
| 3.3.1 ZnO纳米薄膜表面NO_2吸附量与解吸附速度随紫外光光强的变化 | 第40-41页 |
| 3.3.2 光生电子和NO_2夺取电子数量随紫外光光强的变化 | 第41-42页 |
| 3.4 紫外光持续照射下的ZnO纳米薄膜室温NO_2气体传感器 | 第42-45页 |
| 3.5 ZnO纳米薄膜室温NO_2气体传感器灵敏度影响因素 | 第45-48页 |
| 3.5.1 厚度对器件灵敏度的影响 | 第45-46页 |
| 3.5.2 氧空位密度对器件灵敏度的影响 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 4.1 总结 | 第50-51页 |
| 4.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 在学期间的研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
