| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 引言 | 第12-13页 |
| ·场发射 | 第13-16页 |
| ·场发射理论 | 第13-14页 |
| ·场发射性能参数 | 第14-15页 |
| ·场发射材料 | 第15-16页 |
| ·．金刚石材料 | 第16-21页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第16-17页 |
| ·金刚石的性质 | 第17-19页 |
| ·金刚石膜制备方法 | 第19-21页 |
| ·金刚石膜的掺杂研究 | 第21-23页 |
| ·化学气相沉积（CVD）掺杂 | 第21-22页 |
| ·离子注入掺杂 | 第22-23页 |
| ·问题的提出及本文的主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第26-32页 |
| ·自支撑金刚石样品的制备 | 第26-27页 |
| ·衬底预处理 | 第26页 |
| ·金刚石膜的制备 | 第26-27页 |
| ·酸洗和抛光处理 | 第27页 |
| ·Ag离子注入及退火方案 | 第27-28页 |
| ·测试方法及原理 | 第28-32页 |
| ·场发射扫描电子显微镜（FESEM） | 第28页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第28页 |
| ·拉曼光谱（Raman） | 第28-29页 |
| ·掠入射X射线衍射（GXRD） | 第29页 |
| ·X射线光电子能谱（XPS） | 第29页 |
| ·Hall效应（Hall） | 第29-30页 |
| ·场发射性能测试（EFE） | 第30-32页 |
| 第三章 Ag离子注入及退火对FSDP膜微结构和场发射性能的影响 | 第32-44页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·结构、成分及形貌表征 | 第32-39页 |
| ·SEM图谱分析 | 第32-35页 |
| ·AFM图谱分析 | 第35-37页 |
| ·GXRD图谱分析 | 第37-38页 |
| ·Raman光谱分析 | 第38-39页 |
| ·电学性能表征 | 第39-42页 |
| ·Hall效应分析 | 第39-40页 |
| ·场发射性能分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 不同气氛下退火对Ag离子注入FSD膜微结构和场发射性能的影响 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·场发射性能分析 | 第44-46页 |
| ·结构、成分及形貌表征 | 第46-59页 |
| ·SEM图谱分析 | 第46-50页 |
| ·AFM图谱分析 | 第50-53页 |
| ·GXRD图谱分析 | 第53-55页 |
| ·Raman光谱分析 | 第55-56页 |
| ·XPS能谱分析 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 退火温度和气氛对Ag离子注入FSD膜相成分的影响 | 第60-66页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·Raman光谱分析 | 第60-65页 |
| ·Ar气氛中退火温度对Ag离子注入FSD膜中相成分的影响 | 第60-61页 |
| ·N_2气氛中退火温度对Ag离子注入FSD膜中相成分的影响 | 第61-62页 |
| ·H_2气氛中退火温度对Ag离子注入FSD膜中相成分的影响 | 第62-64页 |
| ·O_2气氛中退火温度对Ag离子注入FSD膜中相成分的影响 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-78页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
