二氧化硅CVD过程中的热现象研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第10-14页 |
| ·CVD及其数值模拟的研究现状 | 第10-11页 |
| ·导热与辐射耦合换热的研究现状 | 第11-14页 |
| ·本文研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 二氧化硅沉积理论及数值模拟 | 第15-29页 |
| ·沉积炉的几何模型 | 第15-17页 |
| ·沉积室结构 | 第15-16页 |
| ·喷口结构 | 第16-17页 |
| ·沉积过程的理论模型 | 第17-19页 |
| ·数理模型 | 第17-18页 |
| ·化学反应模型 | 第18-19页 |
| ·数值模型 | 第19-22页 |
| ·结构简化 | 第20页 |
| ·网格生成 | 第20-21页 |
| ·选择模型及设置参数 | 第21-22页 |
| ·气体辐射特性UDF处理 | 第22页 |
| ·数值模拟结果 | 第22-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 沉积室及沉积体内的温度场优化 | 第29-54页 |
| ·优化思路 | 第29-31页 |
| ·定量计算与分析 | 第31-49页 |
| ·中心管气量变化对温度场的影响 | 第31-34页 |
| ·内环氧气管气量变化对温度场的影响 | 第34-36页 |
| ·氢气管气量变化对温度场的影响 | 第36-39页 |
| ·一环氧气管气量变化对温度场的影响 | 第39-41页 |
| ·二环氧气管气量变化对温度场的影响 | 第41-44页 |
| ·外环管气量变化对温度场的影响 | 第44-46页 |
| ·喷口与沉积面距离变化对温度场的影响 | 第46-48页 |
| ·中心管气体配比变化对温度场的影响 | 第48-49页 |
| ·结论与建议 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 石英体内导热与辐射耦合换热分析 | 第54-65页 |
| ·导热与辐射耦合换热控制方程 | 第54-60页 |
| ·求解辐射传递方程的有限体积法 | 第54-56页 |
| ·导热与辐射耦合换热能量方程的有限体积法 | 第56-60页 |
| ·数值模拟与分析 | 第60-64页 |
| ·程序计算流程 | 第60-61页 |
| ·算例验证 | 第61-62页 |
| ·石英玻璃内部温度场计算及分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
