TiN薄膜性能及结合强度研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
·引言	第8页
·TiN薄膜的性能及应用	第8-10页
·TiN薄膜常用的制备方法	第10-12页
·物理气相沉积	第10-11页
·化学气相沉积	第11页
·PVD和CVD镀膜工艺的比较	第11-12页
·界面结合强度的研究现状和意义	第12-14页
·涂层与基体结合强度的评价方法	第14-17页
·划痕法	第15页
·拉伸法	第15-16页
·压痕法	第16-17页
·选题背景和研究内容	第17-18页
2 涂层制备和检测	第18-27页
·制备TiN薄膜的试验设备	第18-20页
·TiN薄膜的制备工艺	第20-21页
·TiN薄膜涂层的表征及参数测定	第21-26页
·薄膜涂层微观结构及表面形貌分析	第21-23页
·划痕试验	第23-25页
·摩擦试验	第25-26页
·本章小结	第26-27页
3 界面应力分析	第27-34页
·界面残余应力产生的原因以及对结合性能的影响	第27-28页
·理论模型的建立	第28-30页
·界面热载荷的有限元分析	第30-32页
·本章小结	第32-34页
4 界面损伤破坏理论研究及数值模拟	第34-51页
·划痕试验破坏过程的分析	第34页
·扩展有限元法	第34-40页
·扩展有限元法的算法	第35-37页
·应用扩展有限元法模拟薄膜撕裂	第37-40页
·内聚力模型模拟复合材料脱层	第40-47页
·内聚力模型	第40-42页
·常用界面张力位移关系	第42-43页
·内聚力模型在ABAQUS中的子程序开发	第43-47页
·模拟结果与划痕试验结果的对比	第47-49页
·本章小结	第49-51页
5 结论与展望	第51-53页
参考文献	第53-57页
致谢	第57-58页
个人简历及在学期间发表的学术论文与研究成果	第58页