| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·靶材应用 | 第10-13页 |
| ·靶材的性能评价指标 | 第13-14页 |
| ·靶材的制备和溅射镀膜技术评述 | 第14-16页 |
| ·研究目的、内容和选题意义 | 第16-18页 |
| 第二章 合金设计理论基础与计算方法 | 第18-31页 |
| ·第一性原理计算 | 第18-25页 |
| ·第一性原理总能计算 | 第19页 |
| ·弹性常数第一性原理计算方法和模型 | 第19-25页 |
| ·合金相图计算模拟 | 第25-26页 |
| ·亚晶格热力学模型 | 第26-29页 |
| ·蒙特卡洛理论及其应用 | 第29-31页 |
| 第三章 金属间化合物有序化行为和弹性性质研究 | 第31-51页 |
| ·钛合金相图 | 第31-33页 |
| ·Ti-Co二元系合金相图 | 第31-32页 |
| ·Ti-Cu二元系合金相图 | 第32页 |
| ·Ti-Cu-Ni三元系合金相图 | 第32-33页 |
| ·Co_3Ti基合金中元素的占位行为 | 第33-41页 |
| ·合金元素在化学计量比的Co_3Ti基合金的占位行为 | 第33-38页 |
| ·非化学计量比的Co_3Ti基合金中元素的占位行为 | 第38-41页 |
| ·Co_2Ti、CuTi_2、CuTi和Ti_2Ni合金中元素占位行为 | 第41-43页 |
| ·Co_3Ti基金属间化合物弹性性质的第一性原理研究 | 第43-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 Ti-M合金靶材的溅射模拟 | 第51-59页 |
| ·从入射离子状态考虑离子束溅射工艺参数模拟 | 第51-54页 |
| ·从靶材考虑离子束溅射工艺参数模拟 | 第54-56页 |
| ·从溅射产物考虑离子束溅射工艺参数模拟 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 Co_3Ti、Ti_4Cu和Ti_(51.5)Cu_(29)Ni_(18.5)合金靶材的制备及其溅射研究 | 第59-70页 |
| ·钛合金靶材的制备及取样分析测试 | 第59-61页 |
| ·钛合金的制备及靶材加工成型 | 第59-60页 |
| ·钛合金靶材的组织结构分析方法 | 第60-61页 |
| ·实验结果分析和讨论 | 第61-66页 |
| ·Co_3Ti合金的组织分析 | 第61-63页 |
| ·Ti_4Cu合金的组织分析 | 第63-65页 |
| ·Ti_(51.5)Cu_(29)Ni_(18.5)合金的组织分析 | 第65-66页 |
| ·Co_3Ti、Ti_4Cu和Ti_(51.5)Cu_(29)Ni_(18.5)合金硬度的测试 | 第66页 |
| ·合金靶材镀膜测试 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 个人简历 | 第79-80页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第80页 |
