摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-7页 |
第一章 绪论 | 第7-14页 |
·氧化锌材料简介 | 第7-9页 |
·氧化锌材料的基本性质 | 第7-8页 |
·氧化锌材料在薄膜晶体管中应用的研究现状 | 第8-9页 |
·石墨烯材料简介 | 第9-13页 |
·石墨烯材料的基本性质 | 第9-11页 |
·石墨烯材料在薄膜晶体管中应用的研究现状 | 第11-13页 |
·本研究论文的主要内容 | 第13-14页 |
第二章 样品的制备技术与表征方法 | 第14-25页 |
·氧化锌的制备原理与方法 | 第14-16页 |
·石墨烯的制备原理及方法 | 第16-18页 |
·薄膜的表征方法 | 第18-24页 |
·X 射线衍射(XRD) | 第18-20页 |
·扫描电子显微镜(SEM) | 第20-21页 |
·原子力显微镜(AFM) | 第21-22页 |
·拉曼光谱分析 | 第22-23页 |
·四探针法 | 第23-24页 |
·本章小结 | 第24-25页 |
第三章 氧化锌与石墨烯薄膜的制备 | 第25-34页 |
·氧化锌薄膜的制备与表征 | 第25-29页 |
·氧化锌薄膜的制备 | 第25-26页 |
·氧化锌薄膜的表征 | 第26-29页 |
·石墨烯的制备与表征 | 第29-32页 |
·石墨烯的制备 | 第29-30页 |
·石墨烯的表征 | 第30-32页 |
·本章小结 | 第32-34页 |
第四章 氧化锌/石墨烯复合薄膜在晶体管上的应用研究 | 第34-42页 |
·薄膜晶体管的基本结构与原理 | 第34-36页 |
·氧化锌薄膜晶体管的制备与性能研究 | 第36-39页 |
·氧化锌层厚度对薄膜晶体管性能的影响 | 第36-38页 |
·退火对薄膜晶体管性能的影响 | 第38-39页 |
·石墨烯薄膜对氧化锌晶体管的性能影响研究 | 第39-40页 |
·本章小结 | 第40-42页 |
第五章 总结与展望 | 第42-44页 |
参考文献 | 第44-47页 |
附录 1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第47-48页 |
附录 2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第48-49页 |
致谢 | 第49页 |