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氧化锌/石墨烯复合薄膜晶体管的制备与性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
第一章 绪论第7-14页
   ·氧化锌材料简介第7-9页
     ·氧化锌材料的基本性质第7-8页
     ·氧化锌材料在薄膜晶体管中应用的研究现状第8-9页
   ·石墨烯材料简介第9-13页
     ·石墨烯材料的基本性质第9-11页
     ·石墨烯材料在薄膜晶体管中应用的研究现状第11-13页
   ·本研究论文的主要内容第13-14页
第二章 样品的制备技术与表征方法第14-25页
   ·氧化锌的制备原理与方法第14-16页
   ·石墨烯的制备原理及方法第16-18页
   ·薄膜的表征方法第18-24页
     ·X 射线衍射(XRD)第18-20页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第20-21页
     ·原子力显微镜(AFM)第21-22页
     ·拉曼光谱分析第22-23页
     ·四探针法第23-24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 氧化锌与石墨烯薄膜的制备第25-34页
   ·氧化锌薄膜的制备与表征第25-29页
     ·氧化锌薄膜的制备第25-26页
     ·氧化锌薄膜的表征第26-29页
   ·石墨烯的制备与表征第29-32页
     ·石墨烯的制备第29-30页
     ·石墨烯的表征第30-32页
   ·本章小结第32-34页
第四章 氧化锌/石墨烯复合薄膜在晶体管上的应用研究第34-42页
   ·薄膜晶体管的基本结构与原理第34-36页
   ·氧化锌薄膜晶体管的制备与性能研究第36-39页
     ·氧化锌层厚度对薄膜晶体管性能的影响第36-38页
     ·退火对薄膜晶体管性能的影响第38-39页
   ·石墨烯薄膜对氧化锌晶体管的性能影响研究第39-40页
   ·本章小结第40-42页
第五章 总结与展望第42-44页
参考文献第44-47页
附录 1 攻读硕士学位期间撰写的论文第47-48页
附录 2 攻读硕士学位期间参加的科研项目第48-49页
致谢第49页

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