| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| ·晶体切片技术 | 第10-12页 |
| ·内圆切片技术 | 第10-11页 |
| ·游离磨料线锯切片技术 | 第11页 |
| ·固结磨料线锯切片技术 | 第11-12页 |
| ·硬脆材料去除机理研究 | 第12-14页 |
| ·硬脆材料锯切加工质量研究 | 第14-17页 |
| ·锯切裂纹和损伤层研究 | 第14-16页 |
| ·锯切粗糙度研究 | 第16-17页 |
| ·金刚石线锯锯切碳化硅晶体研究现状及存在的主要问题 | 第17页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 碳化硅金刚石线锯切割试验及工艺参数设置 | 第19-31页 |
| ·线锯切割设备 | 第19-21页 |
| ·试验方法 | 第21-24页 |
| ·碳化硅的性能及试样制作 | 第21页 |
| ·试验数据的采集 | 第21-24页 |
| ·锯切工艺参数设置 | 第24-28页 |
| ·锯丝振动特性 | 第25-26页 |
| ·锯丝的拉断 | 第26-27页 |
| ·最佳工艺参数的确定 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-31页 |
| 第3章 碳化硅晶体金刚石线锯加工试验研究 | 第31-45页 |
| ·试验方案设计 | 第31页 |
| ·碳化硅线锯切割锯切力分析 | 第31-33页 |
| ·碳化硅线锯切割材料去除率分析 | 第33-34页 |
| ·碳化硅线锯切割表面微观形貌分析 | 第34-36页 |
| ·碳化硅线锯切割表面粗糙度分析 | 第36-38页 |
| ·碳化硅线锯切割锯丝磨损 | 第38-40页 |
| ·正交实验与工艺参数优化 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-45页 |
| 第4章 碳化硅金刚石线锯切片加工机理研究 | 第45-53页 |
| ·碳化硅晶体的结构与性能 | 第45页 |
| ·硬脆材料去除机理模型 | 第45-46页 |
| ·脆性材料塑性域去除的条件 | 第46-47页 |
| ·单颗磨粒锯切力分析 | 第47-49页 |
| ·碳化硅线锯切割去除机理分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 总结与展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第60页 |