移相干涉仪中的振动探测及分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·抗振技术的发展状况 | 第8-14页 |
| ·移相算法抗振 | 第8页 |
| ·被动抗振技术 | 第8-10页 |
| ·主动抗振技术 | 第10-14页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第14-15页 |
| 2 波长调谐移相干涉术原理及测量中振动的传递函数 | 第15-32页 |
| ·波长调谐移相干涉术原理 | 第15-19页 |
| ·波长调谐移相原理 | 第15-16页 |
| ·波长移相算法 | 第16-19页 |
| ·移相干涉测量术中振动的传递函数 | 第19-28页 |
| ·振动引起的光强畸变 | 第19-21页 |
| ·振动误差的传递 | 第21-23页 |
| ·额外效应 | 第23-24页 |
| ·几种算法的传递函数 | 第24-26页 |
| ·随机振动的相位误差传递 | 第26-28页 |
| ·振动给干涉测量带来的实际影响 | 第28-31页 |
| ·干涉仪中振动对干涉条纹的影响 | 第29页 |
| ·三步移相法中振动误差 | 第29-30页 |
| ·不同的移相算法对振动的敏感度 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 干涉场中振动探测电路及振动信号的采集 | 第32-45页 |
| ·基于激光器波长调谐的主动抗振技术 | 第32-34页 |
| ·干涉场光强探测电路 | 第34-40页 |
| ·光强探测电路设计的要求 | 第34-35页 |
| ·光强探测电路的设计 | 第35-36页 |
| ·光强探测电路的噪声特性实验 | 第36-37页 |
| ·光强探测电路的频率特性实验 | 第37-39页 |
| ·光强探测电路的失真 | 第39-40页 |
| ·振动信号的采集 | 第40-44页 |
| ·奈奎斯特采样定理 | 第40-41页 |
| ·信号的采样长度 | 第41-42页 |
| ·探测电路在探测干涉仪振动的实验 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 移相干涉仪中的环境振动分析 | 第45-56页 |
| ·环境振动的分类及特性 | 第45-47页 |
| ·振源的类型与分析 | 第45-46页 |
| ·地面振动的规律 | 第46-47页 |
| ·干涉仪中的振动分析 | 第47-55页 |
| ·振动信号的功率谱密度 | 第48-49页 |
| ·移相干涉仪的振动分析实验 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 全文总结 | 第56-58页 |
| ·本文所做工作和创新点 | 第56-57页 |
| ·需要改进的地方 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
