多晶硅纳米膜压力传感器温度补偿技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·压力传感器温度补偿技术研究现状 | 第9-14页 |
| ·国外研究状况及分析 | 第9-11页 |
| ·国内研究状况及分析 | 第11-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 纳米膜压力传感器及其温度特性 | 第15-23页 |
| ·多晶硅纳米膜压力传感器工作原理 | 第15-16页 |
| ·纳米膜压力传感器温漂及原因分析 | 第16-20页 |
| ·零点输出温漂 | 第16-19页 |
| ·灵敏度温漂 | 第19-20页 |
| ·温度补偿方案 | 第20-22页 |
| ·硬件补偿 | 第20-21页 |
| ·软件补偿 | 第21页 |
| ·补偿方案的选择 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 补偿系统的硬件设计 | 第23-34页 |
| ·补偿系统总体结构 | 第23-24页 |
| ·信号检测与预处理电路 | 第24-28页 |
| ·电桥供电电路的设计 | 第24-25页 |
| ·压力信号放大电路的设计 | 第25-26页 |
| ·温度信号检测电路的设计 | 第26-27页 |
| ·滤波电路设计 | 第27-28页 |
| ·有源屏蔽驱动电路 | 第28页 |
| ·单片机及其外围电路 | 第28-31页 |
| ·ADμC812 单片机性能与结构 | 第29页 |
| ·ADμC812 电源电路设计 | 第29-30页 |
| ·ADμC812 模数转换接口设计 | 第30-31页 |
| ·ADμC812 通信模块的设计 | 第31页 |
| ·系统的抗干扰设计 | 第31-33页 |
| ·电源干扰的抑制 | 第32-33页 |
| ·地线抗干扰设计 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 温度补偿算法的实现及程序设计 | 第34-49页 |
| ·温度补偿算法设计 | 第34-45页 |
| ·传感器标定 | 第34页 |
| ·二元回归分析法 | 第34-39页 |
| ·BP神经网络法 | 第39-44页 |
| ·两种算法的比较 | 第44-45页 |
| ·单片机驱动程序设计 | 第45-48页 |
| ·采样频率 | 第45-46页 |
| ·数字滤波 | 第46-47页 |
| ·单片机主程序流程 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 实验结果分析 | 第49-55页 |
| ·相关指标计算方法及测试方案 | 第49-50页 |
| ·传感器温度特性指标 | 第49-50页 |
| ·测试方案 | 第50页 |
| ·补偿前后测量结果与评价 | 第50-54页 |
| ·补偿前传感器温度特性分析 | 第50-51页 |
| ·补偿效果分析 | 第51-53页 |
| ·系统性能评价 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
